WaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)
Schnellere Vibrations- und Leveling-Messungen in Echtzeit.
Produktvideo zum WaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)
Übersicht
Schnellere Gerätequalifizierung mit kabellosen Messungen.
Erfassung und Anzeige von Beschleunigungs-, Vibrations- und Leveling-Daten. Verwenden Sie das AVLS3 mit der neuen CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit. Sehen Sie die Auswirkungen von Kalibrierungen in Echtzeit – schnellere Geräteaus- und -einrichtung.
Verkürzen Sie Gerätewartungszyklen mit dünnen und leichten wafer-ähnlichen Formaten.
Greifen Sie mit dem dünnen 3,5-mm-Format auf mehr Kammern zu. Ermöglichen Sie problemloses Wafer-Handling und verbessertes Vakuum-Spannen mit dem neuen Chemically Hardened Glass (CHG)-Substrat. Schützen Sie die Prozessbereiche vor der Fabrikumgebung mit dem vakuum-kompatiblen AVLS3.
Das neue AVLS3H-Modell ermöglicht verbesserten Betrieb mit nicht-symmetrischen Drei-Punkt-Spannvorrichtungen wie in Ofen- und anderen Anwendungen.
Niedrigere Wartungskosten für Geräte und höhere Prozessuniformität mit objektiven und reproduzierbaren Daten.
Objektive Messungen für mehrere Anwendungen in einem Gerät – Gerätekalibrierung ohne den Unsicherheitsfaktor Mensch. Jedes Mal korrekte Anpassungen. Erhalten Sie frühzeitige Warnungen bei drohenden Geräteausfällen und optimieren Sie Ihre präventiven Wartungspläne.
Merkmale
| Kabellos, wafer-förmig und batteriebetrieben | Verfügbar in 300 mm. AVLS3- und AVLS3H-Versionen. |
| Meldet Beschleunigungen in drei Dimensionen | x, y und z |
| Meldet die Neigung in zwei Dimensionen | x und y |
| Dünn | 3,5 mm, laminiertes Substrat aus chemisch gehärtetem Glas |
WaferSense® Auto Leveling System 2 Vertical™ (ALS/ALS2V)
Beschleunigt die Einstellung der korrekten Neigung durch die Messung von Steigungs-, Roll-, Steigungsüberlauf- und vertikaler Neigung. Richten Sie schnell und präzise für mehrere Werkzeuge die selbe Ebeneneinstellung ein, um die Prozessuniformität zu verbessern.
Optimierung der Geräteeinrichtung
Messen Sie die Neigung von Kassetten, FOUPs, End-Effektiren, Anpassern, Lastsperren, Übertragungsstiften und Prozesskammersockeln für eine vollständige Charakterisierung Ihrer Prozessgerätschaften. Mit wafer-ähnlicher Form und Vakuum-Kompatibilität müssen Sie Prozessbereiche nicht der Fabrikumgebung aussetzen.
