Überblick

Ertragssteigerung

Verbesserte Erträge und Unterstützung bei der vorausschauenden Wartung durch präzise Wafer-Übergabekalibrierung.  

- Schnelle Erfassung von Offset-Daten (XY und Z) für die Zentrierungstransferpositionen, während sich der waferartige ACS durch Ihre Halbleiteranlagen bewegt. 

- Steigern Sie den Ertrag Ihrer Fertigungsverfahren mit richtig kalibrierter Ausrüstung. 

Wiederholbar & Reproduzierbar

Erreichen Sie wiederholbare und reproduzierbare Aufbauten von Halbleiteranlagen.

Eliminieren Sie Abweichungen zwischen verschiedenen Technikern durch die ACS-Kalibrierung, die wiederholbare und reproduzierbare Einrichtungs- und Wartungsprüfungen ermöglicht.

Reduziert Ausrüstung Maschinenstillstandszeit

Von Stunden zu Minuten.

- Zeitersparnis bei der Fehlersuche, da das Mobilgeräte und vakuumkompatible ACS dafür sorgt, dass die Geräte während der Inspektion abgedichtet bleiben.
- Steigerung der Geräteverfügbarkeit bei gleichzeitiger Reduzierung des Personal- und Verbrauchsmaterialaufwands.

Geschwindigkeits-Fehlerbehebung

Schnellere Fehlersuche und geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien durch Sichtprüfung.

- Empfangen Sie Echtzeitbilder, während die Roboter das ACS durch das Werkzeug bewegen. Die grafische Benutzeroberfläche der NordsonSpectrum™-Software liefert x-, y- und z-Offsets, die jegliches Rätselraten überflüssig machen.
- Überprüfen Sie den Spalt zwischen Fokusring und ESC-Buchse.