WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)
Beschleunigen Sie Vibrations-, Leveling- und Feuchtigkeitsmessungen mit einem All-in-one-Messgerät. Verbessern Sie den Ertrag.
Halbleiterfabriken und OEMs in aller Welt schätzen die Korrektheit, die Präzision und die Vielseitigkeit von WaferSense AMS. Das effizienteste und effektivste kabellose Messgerät für Leveling, Vibration und Feuchtigkeit.
Produktvideo zum WaferSense® Auto Multi Sensor™
Übersicht
Schnellere Gerätequalifizierung mit kabellosen Messungen.
Erfassung und Anzeige von Beschleunigungs-, Vibrations-, Leveling- und Feuchtigkeitsdaten. Überwachung der Feuchtigkeit in Wafer-Umgebungen. Verwenden Sie den Auto Multi Sensor mit der neuen CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit. Sehen Sie die Auswirkungen von Anpassungen in Echtzeit – schnellere Geräteaus- und -einrichtung.
Verkürzen Sie Gerätewartungszyklen mit dünnen und leichten Wafer-ähnlichen Formaten.
Dünneres Format (4,5 mm) für besseren Zugang zu mehr Kammern. Betrieb bei höheren Temperaturen. Schützen Sie die Prozessbereiche vor der Fabrikumgebung mit Vakuum-kompatiblem AMS.
Niedrigere Wartungskosten für Geräte und höhere Prozessuniformität mit objektiven und reproduzierbaren Daten.
Objektive Messungen für mehrere Anwendungen in einem Gerät – Geräteanpassungen ohne den Unsicherheitsfaktor Mensch. Jedes Mal korrekte Anpassungen. Erhalten Sie frühzeitige Warnungen bei drohenden Geräteausfällen und optimieren Sie Ihre präventiven Wartungspläne.
Merkmale
| Kabellos, Wafer-förmig und batteriebetrieben |
Verfügbar in den Größen 150 mm, 200 mm, 300 mm. Dünn, nur 4,5 mm. |
| Meldet Beschleunigungen in drei Dimensionen | x, y und z |
| Meldet die Neigung in drei Dimensionen | x, y und vertikal |
| Korrekte Feuchtigkeitsmessung | +/- 2 % RH |