Übersicht

Schnellere Gerätequalifizierung mit kabellosen Messungen.

Erfassen Sie ohne Kabel Partikeldaten mit APS3 und CyberSpectrum™-Software für Gerätediagnosen in Echtzeit und zeigen Sie sie an. Vergleichen Sie Vergangenheit und Gegenwart sowie unterschiedliche Tools mit ParticleSpectrum™. Sparen Sie Zeit mit der schnellen Erkennung von Verunreinigungsquellen, und sehen Sie die Auswirkungen von Reinigungsvorgängen, Anpassungen und Reparaturen in Echtzeit.

Verkürzen Sie Gerätewartungszyklen mit dünnen Wafer-ähnlichen Formaten.

Erkennen Sie Partikel in Echtzeit, ohne das Tool zu öffnen und dadurch Prozessbereiche der Umgebung auszusetzen. Dünneres und leichteres APS3 für die Stellen, an denen Wafers von Partikeln kontaminiert werden. Sobald die Partikel lokalisiert wurden, können die Werkzeuge effektiv gereinigt werden. Öffnen Sie nur den verschmutzten Teil, damit die übrigen Bereiche sauber bleiben.

Senken Sie die Gerätekosten mit objektiven und reproduzierbaren Daten.

Sorgen Sie für bessere Überwachungserfolge beim ersten Durchgang, senken Sie Ihre Qualifizierungskosten und erhöhen Sie die Verfügbarkeit mit APS3. Erhalten Sie frühzeitige Warnungen bei drohenden Geräteausfällen und optimieren Sie Ihre präventiven Wartungspläne. Richten Sie anhand eines bekannten sauberen Werkzeugs eine Basislinie ein, und verwenden Sie dann APS3 für ein Kandidatenwerkzeug, bevor Sie die Überwachungswafers endgültig einsetzen.