Visão geral

Agilize a qualificação do equipamento com medições sem fio.

Colete e exiba dados de aceleração sem fio usando o AVS e o software CyberSpectrum™ para diagnóstico de equipamento em tempo real. Veja os efeitos de ajustes em tempo real, agilizando o alinhamento e a configuração do equipamento.

Diminua os ciclos de manutenção do equipamento com um acelerômetro semelhante a um wafer.

Observe e otimize movimentos de wafer, cassete, SMIF e FOUP usando o acelerômetro triaxial AVS. Detecte escorregões, patinagens, solavancos, arranhões e manuseio indevido de wafer em tempo real usando o AVS compatível com vácuo, sem abrir a ferramenta. Otimize os parâmetros de movimento assim que a localização ou a ausência de danos no wafer for identificada.

Reduza as despesas do equipamento com dados objetivos e reproduzíveis.

Estabeleça uma linha de base a partir de uma ferramenta limpa conhecida e passe o AVS por um wafer de teste para verificar se a operação da linha de base continua. Receba avisos com antecedência para falhas de equipamento iminentes e otimize os planos de manutenção preventiva.

Otimize a produtividade do equipamento e o resultado maximizando a aceleração e minimizando a vibração.

Os perfis e as trajetórias de movimento otimizados minimizam os tempos de ciclo, e o manuseio macio, livre de vibrações, minimiza adições de partícula.