概要

特長

• 2つの検出距離を持つEX-QS1.5インチ及び2.2インチに対応″ ″EX-Qは1.5インチ、2.2インチ、3インチ、4,5インチの4種類の検出距離に対応””
• 幅広い感度を備えているので、出荷時のデフォルト状態にて暗色や薄型ウエハを検出できる能力を持ちます。
• カセットやFOUP背部からの乱反射を除去する構造を持っています。
• EX-QSは幅広い感度を備えているので、感度調整が不要となり、装置にかかるメンテナンス費用を削減することが出来ます。
• ウエハを搬送する前にウエハの位置やクロススロットを検出できるので不慮の事故を未然に防ぎます。
• パーティクル汚染を引き起こす可動部品がありません。
• クロススロットを検出し、超薄型ウエハにも対応可能です。
• 注: コネクターはオプションです。注文時に指定してください。