概要

４線式ケルビン測定により接触電気抵抗値を精度良く測定します。

コンタクトリングの劣化を簡単にリアルタイムに測定して検証することが可能になります。装置内をセルチャンバーまで自動搬送させることが可能な薄型設計今までの実ウエハと検査装置を使った検証にかかるコストと時間を大幅に削減します。

測定のN数を対象とした測定データを解析して最適なメンテナンスサイクルを予測することが出来ます。

再現性の良い測定データと用いて予防メンテのサイクル期間を最適化ソフトウエアCyberSpectrum™にて過去と現在のデータ比較を行うことが可能新品のコンタクトリングやクリーニングされたコンタクトリングに対して基準を設けて運用することが可能電気抵抗値に基準を設けることにより抵抗値の面内均一性に対する早期アラームを実施することが可能

客観的で再現性のある抵抗測定手法でセルチャンバー間のプロセス均一性の機差を管理することが可能

いつ頃にコンタクトリングが劣化するのかを予測することに役立つコンタクトリングの抵抗値をリアルタイムで検証していくことによりさまざまなチャンバーにおいて歩留まりを向上させることが可能