Visão geral

Características

• O EX-QS está disponível em duas distâncias equidistantes: 1,5″ e 2,2″. EX-Q está disponível em 1,5” e 2,2”
• Detecta wafers claros, escuros e revestidos em geometrias de borda e tamanho variados em configuração do ganho de fábrica.
• Insensível à interferência do ambiente de mapeamento, inclusive reflexos esparsos.
• Fácil de usar, a interface direta “pronta para uso” não requer amplificação ou condicionamento do sinal e reduz o custo total de propriedades
• A solução do mapeamento de wafer não intrusivo protege wafers importantes contra colisões inadvertidas.
• Sem peças móveis capazes de acarretar contaminação por partículas.
• Detecta wafers cruzados e ultrafinos.
• Nota: O conector é uma opção e deve ser especificado quando solicitado.