Übersicht

Merkmale

• EX-QS ist jetzt mit zwei Messabständen erhältlich: 1,5″ und 2,2″. EX-Q ist mit 1,5” und 2,2” erhältlich
• Erkennt helle, dunkle und beschichtete Wafers unterschiedlicher Größe und mit verschiedenen Kantengeometrien bei Werkseinstellung der Verstärkung.
• Unempfindlich gegenüber Störungen aus der Mapping-Umgebung, einschließlich Streureflexionen.
• Benutzerfreundliche, direkt einsetzbare Schnittstelle erfordert keinerlei Verstärkung oder Signalkonditionierung und reduziert die Gesamtbetriebskosten.
• Störungsfreie Wafer Mapping-Lösung zum Schutz wertvoller Wafers vor unbeabsichtigten Stößen.
• Keine beweglichen Teile, die Verunreinigungen durch Partikel verursachen können.
• Erkennt kreuzgeschlitzte und äußerst dünne Wafers.
• Hinweis: Der Steckverbinder ist optional und bei der Bestellung anzugeben.