Spin Scanning Acoustic  Microscopy です。

SpinSAM 自動検査ツールは、高いスループットと優れた感度を提供し、ウェーハベースのアセンブリの欠陥を正確に特定します。 理想的なアプリケーションには、貼り合わせウェーハ、チップオンウェーハ、スタックウェーハ、MEMS、オーバーモールドウェーハなどがあります。 最大 4 枚のウェーハを同時に効率的にスピンスキャンします。生産環境でこれまでに達成された最も広い周波数範囲でウェーハを検査できます。ウォーターフォールトランスデューサは、コンタミや接着に関する誤判定リスクを最小限に抑える非浸漬スキャンを提供します。   

•  SpinSAMで、ダウンタイム は過去のものに 
• 継続的な運用とピーク パフォーマンスを 確保
• SpinSAMは、 モジュール式設計により、 修理までの平均時間 (MTTR) を効率的に確保できます
• 必要な修理は 迅速に対処できるため、 生産 ラインを 長時間中断することなく スムーズに稼働させることができます
  
  
  
  
  
  
  

この革新的なアプローチと高度なグローバルツールマッチング機能を組み合わせることで、SpinSAM により、どんな小さな欠陥でも比類のない精度で検出可能です。グローバルなツールマッチングにより、検査プロセスの均一性を維持し、業務を合理化し、半導体製造エコシステム全体で比類のない品質管理基準を達成できます。