AMI SpinSAM - 스캔 - 청각 - 현미경검사
- 300mm 웨이퍼 4개 점검 기준으로 업계를 선도하는 처리량
- 동급 최고의 설치 면적/UPH
- 선도적인 결함 포착 및 이미지 품질
- 정비가 쉬운 모듈형 설계
- 완전 자동화된 점검 및 분석과 공장 통신
가령....
... 시간당 처리량(UPH)의 중요성을 이해하는 획기적인 제품이 있다고 상상해 보십시오.
설치 면적이 작아 고가의 클린룸 공간이 절약되면서 업계를 선도하는 웨이퍼 점검 처리량 및 속도를 자랑합니다. 혁신적인 회전 스캔 방법으로 웨이퍼 4개를 동시에 스캔할 수 있습니다. 독점 트랜스듀서 기술을 채택했으며, 스티칭 없이 완전한 웨이퍼 이미지를 생성합니다. 관리하기 쉬워 다양한 웨이퍼 응용 분야에서 결함을 정확하게 찾아내는 데 최고의 솔루션입니다.
웨이퍼 점검의 미래를 맞이하는 방법
획기적인 기술
속도가 생명인 반도체 제조 분야에서는 정밀함과 효율성이 결코 타협할 수 없는 부분입니다.
이에 따라 Nordson에서 까다로운 업계 요구를 충족하도록 설계된 자동화 점검 기술의 정점인
SpinSAM을 선보입니다. SpinSAM은 처리량이 높으며 비교할 수 없는 민감도를 자랑하는
획기적인 기술입니다. 이 시스템은 정확도를 떨어뜨리지 않으면서
시간당 생산량(UHP)을 극대화(시간당 웨이퍼 41개 점검 가능)하도록
섬세하게 엔지니어링된 혁신적인 회전 스캔 방법을 갖추고 있습니다.
결합된 웨이퍼부터 MEMS까지 어디에나 사용할 수 있습니다.
SpinSAM이라면 모두 쉽게 처리 가능합니다.
SpinSAM이란 무엇입니까?
Spin(회전) S(스캔) A(청각) M(현미경검사)
SpinSAM 자동화 점검 도구는 높은 처리량과 더 나은 민감도로 웨이퍼 기반 어셈블리에서 결함을 정확하게 찾아냅니다. 적합한 응용 분야는 결합된 웨이퍼, 칩 온 웨이퍼, 적층형 웨이퍼, MEMS, 오버몰드 웨이퍼 등입니다. 일치하는 트랜스듀서 4개로 동시에 웨이퍼 최대 4개를 효율적으로 회전 스캔할 수 있으며 생산 환경에서 역대 가장 넓은 주파수 범위로 웨이퍼를 점검할 수 있습니다. 폭포형 트랜스듀서로 액침 없는 스캔이 가능하기 때문에 오염과 잘못된 결합 표시 위험이 최소화됩니다.
1초 1초가 중요
- SpinSAM을 사용하면 중단 시간 문제 방지 가능
- 지속적인 운영 및 최고의 성능 보장
- SpinSAM은 모듈형 설계 덕분에 효율적인 평균 수리 시간(MTTR) 달성 가능
- 필요한 수리를 신속하게 처리할 수 있어 생산 라인 가동이 장시간 중단 없이 원활하게 지속
글로벌 도구 일치
고급 글로벌 도구 일치 기능과 결합된 이 혁신적인 방식 덕분에 SpinSAM은 비교할 수 없는 정밀도로 가장 사소한 결함까지도 감지할 수 있습니다. 다양한 SpinSAM 시스템에서 같은 설정을 사용하는 것이 가능하기 때문에 위치에 관계없이 일치 결과를 얻을 수 있습니다. 글로벌 도구 일치를 통해 전체 반도체 제조 에코시스템에서 점검 공정의 균일성을 유지하고, 운영을 간소화하고, 비교할 수 없는 품질 제어 표준을 달성할 수 있습니다.
독점 트랜스듀서 기술
이 혁신적인 청각 점검 시스템은 정확도를 떨어뜨리지 않으면서 최고의 효율성을 보장합니다.