AMI SpinSAM – Varredura – Acústica – Microscópica
- Produtividade líder do setor na inspeção de quatro wafers de 300 mm
- Melhor área de ocupação/UPH da categoria
- Captura de defeitos e qualidade de imagem líderes da categoria
- Design modular tendo em vista a facilidade de manutenção
- Inspeção totalmente automatizada e análise com comunicação de fábrica
E se....
... houvesse um produto que entendesse a importância de UPH – e mudasse o jogo.
Com uma área de ocupação compacta, economizando um espaço caro da sala limpa com a produtividade líder do setor tendo em vista a inspeção e a velocidade do wafer. Ele é capaz de varrer 4 wafers simultaneamente com um método de varredura giratória inovador. Ele conta com uma tecnologia de transdutor própria e gera uma imagem de wafer completa sem emendas. Fácil de manipular – a solução definitiva para localizar defeitos com precisão em uma grande variedade de aplicações de wafer.
Embarque no futuro da inspeção de wafer
Uma revolução
No mundo ágil da fabricação de semicondutores, precisão e eficiência são inegociáveis.
Apresentação do SpinSAM – o ápice da tecnologia de inspeção automatizada projetada para atender às
demandas rigorosas do setor. O SpinSAM é uma revolução com alta produtividade e
sensibilidade inigualável. O sistema tem um método de varredura giratória inovador,
projetado meticulosamente para maximizar UHP),
o que significa inspecionar 41 wafers por hora sem comprometer a precisão.
Tudo, desde wafers coesos até MEMS.
O SpinSAM resolve tudo isso com tranquilidade.
O que é SpinSAM?
Varredura giratória Acústica Microscópica
A ferramenta de inspeção automatizada SpinSAM oferece alta produtividade e melhor sensibilidade tendo em vista uma localização precisa dos defeitos em conjuntos baseados em wafer. Entre as aplicações ideais estão wafers coesos, Chip-on-Wafer, wafers empilhados, MEMS, wafers sobremoldados e muito mais. Com capacidade de varredura giratória eficiente de 4 wafers simultâneos com 4 transdutores compatíveis, os wafers podem ser inspecionados na faixa de frequência mais larga já atingida em um ambiente de produção. O transdutor em cascata oferece uma varredura não imersiva, o que minimiza os riscos de contaminação e os falso indicativos de colagem.
Cada segundo conta
- Com o SpinSAM, o tempo de inatividade passa a ser coisa do passado
- Verifique a operação contínua e o desempenho de pico
- O design modular do SpinSAM possibilita um MTTR (Mean Time to Repair, Tempo médio de reparo) eficiente
- Todos os reparos necessários podem ser feitos tranquilamente, mantendo a linha de produção funcionando perfeitamente sem interrupções prolongadas
Comparação global de ferramentas
Somada ao recurso avançado da comparação global de ferramentas, essa abordagem revolucionária garante que o SpinSAM seja capaz de detectar os menores defeitos com precisão inigualável, além de permitir a você usar as mesmas configurações em vários sistemas SpinSAM diferentes, o que garante resultados comparativos independentemente da localização. Com a comparação global de ferramentas, você pode manter a uniformidade no processo de inspeção, aprimorar as operações e atingir padrões de controle de qualidade inigualáveis em todo o ecossistema de fabricação de semicondutores.
Tecnologia de transdutor própria
Esse sistema de inspeção acústica inovador garante eficiência máxima SEM sacrificar a precisão.