半導体 包装

半導体製造

ノードソンはエレクトロニクスの信頼性向上を目指しています

未来の技術に向けた信頼性の向上


私たちはこれまで以上にデジタル技術に依存しています。エレクトロニクスは、私たちのコミュニケーション、仕事のサポート、私生活の自動化に貢献しています。これには、5Gインフラ、サーバネットワーク、モバイル、IoTデバイス、クラウドコンピューティング、自動運転、金融技術などが必要となります。IDM、ファウンドリ、OSATをサポートしている場合は、テクノロジーを必要とする市場に必要な製品を提供するために、より小型で高性能なチップの需要を満たすソリューションを常に探求していますそして、それらは信頼性がなければなりません。お客様の製品に信頼性のあるライフスパンを提供するために設計された、最先端の流体ディスペンシングおよびプラズマ表面処理をご覧ください。

 

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ウェーハレベルパッケージング: さらなる進化

ウェハレベルパッケージング (WLP) は、チップ生産プロセスの合理化に焦点を当てた先端パッケージング技術です。WLPには、ファンイン/ファンアウト、チップファースト/チップラスト、チップオンウェハー、その他のさまざまなパッケージタイプなど、さまざまな集積化手法が含まれます。WLPは、将来の電力、性能、面積およびコスト (PPAC) の改善を目的とした半導体製造における主要トレンドである異種集積 (HI) の基礎です。HIには、ウェハレベルシステムインパッケージ (SiP) アーキテクチャ、2D、2.5D、3D集積回路 (IC) 積層、および最近ではチップレットアーキテクチャアプリケーションが含まれます。

パネルレベルパッケージング (PLP): 規格発行

もう1つの高度なパッケージング技術であるパネルレベルパッケージング (PLP) は、半導体パッケージングを大型パネルフォーマットに移行させ、効率と規模の経済性を改善することによってコストを削減する可能性が期待されています。2019年には、SEMI Standard 3D20がリリースされ、パネルサイズが標準化され、装置メーカーがPLPを可能にするツールの開発に投資できるようになりました。

200mmまたは300mmの円形ウエハ上でパッケージを製造するWLPとは異なり、PLPは、数千個の追加パッケージを収容できる大きな正方形パネル上でパッケージを処理します。例えば、Advanced Semiconductor Engineering Inc (ASE) によると、300mmのウエハでは6mm x 6mmのパッケージを2,500個処理できるが、600mm x 600mmのパネルでは12,000個のパッケージを収容できる。WLPとPLPの選択は、主に生産量に依存し、PLPはより大量の製品に適しています。

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マテリアルハンドリング: より優れた自動化を実現

当社は現在、主要な半導体メーカーと提携して、トレーサビリティ、無人化工場、インダストリー4.0、将来目標の工場を推進するために、当社のシステムを各社のOHT (天井走行式無人搬送車) およびAGV (無人搬送車) マテリアルハンドリングシステムと統合しています。

流体ディスペンシング: 常に重要な役割を果たす

流体ディスペンスは、接着、構造的完全性、熱伝導性および電気伝導性、保護などを提供する半導体パッケージングアプリケーションにおいて、長い間重要な役割を果たしてきた。パッケージングの進歩と並行して、ディスペンスの生産性を向上させる必要が常にあります。チップの数が増加するにつれて、ディスペンスアプリケーションは、小さなフォームファクター内で、またチップとコンポーネント間のミクロンサイズのギャップ内に、精度と一貫性を持って、ますます少量の流体を供給する必要があります。信頼性とスループットを向上させるためには、高速で正確なディスペンスが非常に重要です。

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高度なASYMTEKソリューション、多様なアプリケーション

  • システムインパッケージ (SiP)
  • 集積受動素子
  • CoW
  • CoWos
  • BGA
  • PoP
  • CSP
  • PCB/フレックス回路
  • フリップチップアンダーフィル
  • フリップチップ用のフラックスディスペンス
  • CPU/GPUリッドシール
  • 熱界面材料ディスペンス
  • リッドアタッチメント用シーリング

実際のソリューション

Forte MAXデュアルバルブ

自動化されたリアルタイム調整により、歪んだ部品に簡単に対応できます。

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IntelliJet® ジェッティング システム

小さなドットサイズと狭いストリーム幅でダイの汚染を防ぎます。

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Forte®シリーズ

高精度と 吐出量 のための頑丈なディスペンス パフォーマー。

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Vantage®シリーズ 

ハイエンドで高精度の高度な半導体アプリケーションに最適です。

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ASYMTEK液体ディスペンシングの詳細

ASYMTEK Vantage®(ヴァンテージ)シリーズ

当社の最先端のディスペンスプラットフォームです。 ハイエンドの半導体パッケージングおよびアセンブリ用に設計されています。 ※本製品は Nordson Electronics Solutions の...

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ASYMTEK Forte®(フォルテ)シリーズ

大量のコンシューマエレクトロニクス、プリント基板アセンブリ、フレキシブル回路、MEMS、およびエレクトロニクスアセンブリアプリケーション向けの、卓越したディスペンスの生産性と精度を提供します。詳細については、お問い合わせください。 ※...

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ASYMTEK IntelliJet® ジェッティング システム

特許取得済みのReadiSet®ジェット・カートリッジを搭載したIntelliJet®ジェッティングシステムは、最先端の信頼性とマイクロ・ドット・ディスペンシングを実現し、最先端の半導体およびモバイル・エレクトロニクス・パッケージの製造に対...

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003シリーズ 少量用 メータリングバルブ

003シリーズ少量用メータリングバルブは、少量の正確に測定された材料を自動的にディスペンスする容積式メータリングバルブです。

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プラズマ処理

プラズマは不純物を除去し、表面を活性化して流動性と密着性を高め、パッケージの信頼性を向上させます。 


高度なMARCHソリューション、多様なアプリケーション

  • ウェハ洗浄
  • ウェハレベルプロセスにおけるデスカム
  • ウェハレベルのプロセスでの剥離およびエッチング
  • ウェハレベルプロセスでのVIA洗浄
  • ウェハ前処理
  • BCBおよびUBM接着
  • 誘電体パターン形成
  • バンプ接着
  • ダイアタッチ前処理
  • ワイヤーボンド前処理
  • アンダーフィル前処理
  • 封止およびモールディング前処理
  • MEMS

MARCH StratoSPHERE™ プラズマ処理システム


300mmまでのウェハを高スループットで処理可能です。優れたエッチング均一性、プロセス再現性、および再現性の高い結果が得られる制御を提供します。

詳細

MARCH プラズマ表面処理の詳細

MARCH APバッチシリーズ

MARCH AP バッチ シリーズは、バッチ製造および研究開発環境向けに高性能プラズマ処理を提供します。 ※ 本製品は Nordson Electronics Solutions の...

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MARCH FlexTRAK®シリーズ(フレックストラック)

FlexTRAK® プラズマ処理システムは、高度半導体パッケージのアプリケーション向けに高スループットのストリップタイプのインラインボート処理を提供します。 システムの詳細については、お問い合わせください。 ※ 本製品は Nordson...

詳細はこちら

MARCH SPHERE™(スフィア)シリーズ

ウェーハレベル(WLP)およびパネルレベル(PLP)パッケージアプリケーション向けの高均一性プラズマ表面処理システム ※ 本製品は Nordson Electronics Solutions の...

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