概要

MARCH AP-600およびAP-1000プラズマ処理システムは、さまざまなプラズマ洗浄、表面活性化、および接着性改善のアプリケーションに適しています。このシステムは、半導体製造、マイクロエレクトロニクスパッケージングおよびアセンブリ、およびメディカルデバイス製造のための非常に均一なプラズマ洗浄および処理を提供する。プロセス相関、コントローラ連続性、および信頼性と再現性の高い真空ガスプラズマ処理により、研究開発環境から生産環境に拡張できます。

Essential （基本機能）プラズマ処理システムは最小限の納期でご提供いたします。

Essential （基本機能）システム性能

• 柔軟なバッチ処理 – ダイレクトプラズマモードまたはダウンストリームプラズマモードでさまざまな部品キャリアのバッチ処理をサポートし、柔軟なシェルフアーキテクチャを備えた不可欠なコンパクトなプラズマシステムです。幅広いマーケットやアプリケーションに最適です。

MARCH APバッチシリーズ :

• コンパクトなシステムシャーシとインピーダンス整合を備えた13.56 MHz RFジェネレータにより、比類のないプロセスの再現性を実現します。
• アルゴン、酸素、窒素、ヘリウム、フッ素化ガスなど、さまざまなプロセスガスに対応しています。
• 直感的なタッチスクリーンコントロールパネルにより、プロセスおよび生産データにリアルタイムでアクセスし、統計的なプロセス制御を行うことができます。
• 最適なガス制御のための2つの標準電子マスフローコントローラ、オプションで1つの追加コントローラ。
• マガジン、トレイ、Auer ®ボートなど、さまざまな部品、コンポーネント、および部品キャリア用の取り外し可能で調整可能な電源またはアース付きシェルフです。
• 耐久性に優れた高品質の構造を持つ設備です。 

▶日本でのお問い合わせ
 ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社
（エレクトロニクス・ソリューションズ）
製品の仕様確認や適合判断につきましては、日本法人の技術営業スタッフが対応いたします。

お問い合わせやカタログ希望につきましては、以下のメールアドレスから直接ご連絡いただけます。
Email：[email protected]
TEL：0120-537-555