Acquisisci dati offset per una calibrazione accurata delle posizioni di reticolo come gli spostamenti ATSR del wafer attraverso i macchinari dedicati alla produzione di semiconduttori. Migliora la resa del tuo processo di produzione con macchinari calibrati correttamente.

Migliora la resa e riduci la contaminazione causata dal particolato con una calibrazione precisa del passaggio del reticolo. Acquisisci dati offset per una calibrazione accurata delle posizioni di reticolo come gli spostamenti ATSR del wafer attraverso i macchinari dedicati alla produzione di semiconduttori. Migliora la resa del tuo processo di produzione con macchinari calibrati correttamente. Ottieni configurazioni dei macchinari per la produzione di semiconduttori ripetibili e riproducibili. Elimina le variazioni da tecnico a tecnico con il processo di calibrazione ATSR che permette di eseguire configurazioni e controlli di manutenzione ripetibili e riproducibili. Riduci i tempi di fermo dei macchinari da molte ore a pochi minuti. Risparmia tempo dedicato alla risoluzione dei problemi grazie all'ATSR wireless e compatibile con il vuoto che permette ai macchinari di rimanere sigillati durante l'ispezione. Aumenta la disponibilità dei macchinari e riduci le spese legate alla manodopera e ai materiali di consumo. Velocizza la risoluzione dei problemi e riduci le spese dei materiali di consumo con l'ispezione visiva. Ricevi immagini in tempo reale mentre i robot spostano ATSR attraverso lo strumento. L'interfaccia utente grafica del nuovo software CyberSpectrum™ offre offset x, y e z che eliminano le congetture. Cerca i wafer persi e i detriti sui piedistalli senza aprire lo strumento.