WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)
Migliora uniformità e resa con WaferSense AGS2 wireless per configurazioni accurate e ripetibili.
Video del prodotto WaferSense® Auto Gapping System2™ (AGS2)
Panoramica
La configurazione ideale
Ottieni la configurazione ideale per i tuoi macchinari misurando i divari su tre punti.
- Ottieni velocemente il divario di cui hai bisogno, utilizzando le letture dalle camere alla pressione di processo in forma numerica e grafica, con il software Nordson Spectrum di facile utilizzo.
- Ottieni l'uniformità migliore, sia che tu abbia bisogno di impostare un divario che sia perfettamente parallelo
o leggermente inclinato.
Migliora il processo da strumento a strumento
Migliora l'uniformità di processo da strumento a strumento con regolazioni del divario obiettive e ripetibili.
- Opera con tranquillità eliminando la variabile umana dalla regolazione dei tuoi macchinari con misurazioni (numeriche) obiettive.
- Effettua sempre le regolazioni corrette.
- Permetti a chiunque di impostare lo stesso divario sugli strumenti.
Riduci il tempo dedicato alla calibrazione
Riduci il tempo grazie al feedback dal vivo.
- Osserva gli effetti delle regolazioni in tempo reale.
- Ottieni una chiara indicazione di quando le configurazioni del macchinario si trovano entro i limiti di tolleranza utilizzando misurazioni che possono essere effettuate dall'interno di una camera di processo posta sotto vuoto.
Velocizza le configurazioni
Velocizza configurazioni, manutenzione e risoluzione dei problemi con la gestione automatica.
- Risparmia tempo e denaro.
Caratteristiche & software
| Specifiche preliminari | |
|---|---|
| Fattore di forma | Disponibile in 200 e 300 mm |
| Software | Nordson Spectrum |
| Precisione | ± 0,025 mm per divari fino a 30 mm |
| Materiale dell'alloggiamento | Fibra di carbonio |
| Risoluzione | <0,001 mm (per divario da <30 mm) |
| Intervallo | Da 8 a 30 mm (standard), da 7 a 50 mm (esteso - esplorativo) |
| Peso | 250 g (300 mm) |
| Pressione di funzionamento | <da 10-6 a 760 torr |
| Temperatura | Da 20 a 60 °C |
| Durata della batteria | <3 ore per ricarica |
| Comunicazione | Bluetooth |
| Sistema operativo | Windows 10 |
| Componenti del prodotto | Dispositivo di misurazione del divario, custodia di ricarica, valigetta di trasporto, modulo di comunicazione USB e software applicativo |
| Calibrazione | Ricalibrazione alle impostazioni di fabbrica consigliata annualmente |
Visualizza dati numerici e grafici in tempo reale. Identifica facilmente se il divario si trova sopra, sotto o entro l'intervallo del divario definito dall'utente. Visualizza i dati dei file di log per revisione e analisi.
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