Visión general

La serie AW puede ofrecer una sensibilidad superior a 5 micras, rendimientos que son aproximadamente dos veces más rápidos que los sistemas de la competencia y escáneres que no son de inmersión que eliminan los falsos positivos debido a la entrada de agua DI. 

La serie AW maneja, inspecciona y clasifica automáticamente las obleas según los criterios de aceptación/rechazo definidos por el usuario. El sistema está diseñado para manejar productos a nivel de oblea (sensores BSI, SOI, MEMS, LED, chip-on-wafer y obleas sin pulir) fabricados mediante prácticamente cualquier método, incluidos los procesos de unión mediante fusión directa, anódica, frita de vidrio y unión epoxi.

• Técnicas de unión directa - Los usuarios del sistema han descubierto que los rendimientos pueden mejorarse significativamente mediante la inspección en tres etapas de producción: después de la unión inicial por fuerzas de Van der Waals, después del recocido y después del adelgazamiento.
• dispositivos MEMS - La calidad de los sellos de la cavidad se puede examinar antes de la individualización.
• Obleas crudas y sin pulir - detectar vacíos naturales que causan "agujeros" durante el procesamiento posterior.
• LED - Examinar la unión de las capas de forma automática sobre una base de troquelado y clasificar los troqueles defectuosos y sospechosos. 

La serie AW aprovecha la prueba de Nordson& Los lentes de alta frecuencia acústica patentados de Inspection, que están diseñados internamente, para obtener las imágenes más detalladas. Se requieren lentes especiales ya que los materiales utilizados en estas aplicaciones, como silicio, zafiro, vidrio, GaAs, etc., pueden ser muy transparentes a los ultrasonidos. Se puede detectar la delaminación con la separación entre las obleas tan delgada como 200 Å Angstroms.

La serie AW300 ofrece inspección totalmente automatizada, cumple con SECS/GEM y se puede personalizar según sus requisitos.

Características 

• Prueba de Nordson& El transductor de cascada de Inspection proporciona un escaneo sin inmersión que minimiza el riesgo de contaminación y las indicaciones de unión falsa.
• Se encuentran disponibles puertos de carga duales (opcional) para una mayor capacidad de lotes con puertos de carga para soportes FOUP o FSOB de 300 mm, para SMIF de 200 mm y para casetes de 100 mm a 200 mm.
• Prueba de Nordson& El software de análisis automatizado de la inspección determina con precisión el porcentaje de unión y/o no unión, tamaño y conteo de vacíos, sellos de cavidades abiertas y ancho mínimo del sello, así como una aceptación/sospecha/rechazo automático según los criterios definidos por el usuario.
• El emisor/receptor de 500 MHz de ancho de banda y los transductores de ultra alta resolución están diseñados y fabricados por Sonoscan para un rendimiento óptimo y para generar imágenes superiores.
• Están disponibles clasificaciones de sala limpia Clase 1000 y clasificación de sala limpia Clase 100.