概要

特長

• EX-QSには2種類の検出距離の仕様があります。1.5インチ及び2.2インチの検出距離仕様″″EX-Qは1.5インチ、2.2インチ、3インチ及び4.5インチの検出距離仕様を持ちます。””
• 様々な反射率を持つウエハ（暗色や薄型など）に対応できる幅広い余裕のある感度がデフォルトで設定されています。
• FOUP背部からの乱反射を除去する光学的構造を持ちます。
• 感度調整が不要でシンプルで使いやすいので装置のメンテナンスにかかる費用を低減させることが可能です。
• ウエハを搬送する前に位置やクロススロットを検出することで、不慮の事故を未然に防ぐことが可能です。
• パーティクル汚染を引き起こす可能性のある可動部品がありません。
• クロススロットエラーを検出し、超薄型ウエハにも対応しています。
• 注: コネクターはオプションです。注文時に指定してください。