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Mapeamento de wafer EX-Q
Nosso sensor de mapeamento de wafer EX-Q oferece uma detecção rápida e confiável de wafers de semicondutor e erros de slot em cassetes ou FOUPs. Este sensor pronto para uso tem muita amplitude de detecção (sensibilidade), o que permite que ele detecte facilmente wafers finos e revestidos escuros de qualquer tamanho. Ele também não tem peças móveis capazes de acarretar contaminação por partículas.
Visão geral
Características
- O EX-QS está disponível em duas distâncias equidistantes: 1,5″ e 2,2″. EX-Q está disponível em 1,5” e 2,2”
- Detecta wafers claros, escuros e revestidos em geometrias de borda e tamanho variados em configuração do ganho de fábrica.
- Insensível à interferência do ambiente de mapeamento, inclusive reflexos esparsos.
- Fácil de usar, a interface direta “pronta para uso” não requer amplificação ou condicionamento do sinal e reduz o custo total de propriedade.
- A solução do mapeamento de wafer não intrusivo protege wafers importantes contra colisões inadvertidas.
- Sem peças móveis capazes de acarretar contaminação por partículas.
- Detecta wafers cruzados e ultrafinos.
- Nota: O conector é uma opção e deve ser especificado quando solicitado.