Loading...
EX-Q Wafer Mapping
Unser EX-Q Wafer Mapping-Sensor ermöglicht die schnelle und zuverlässige Erkennung von Halbleiter-Wafern und Schlitzfehlern in Kassetten oder FOUPs. Dieser sofort einsetzbare Sensor bietet einen großen Erkennungsbereich (hohe Empfindlichkeit) und ermöglicht das Erkennen dünner und dunkel beschichteter Wafer jeder Größe. Er hat keine beweglichen Teile, die Verunreinigungen durch Partikel verursachen könnten.
Übersicht
Merkmale
- EX-QS ist jetzt mit zwei Messabständen erhältlich: 1,5″ und 2,2″. EX-Q ist mit 1,5” und 2,2” erhältlich
- Erkennt helle, dunkle und beschichtete Wafer unterschiedlicher Größe und mit verschiedenen Kantengeometrien bei Werkseinstellung der Verstärkung.
- Unempfindlich gegenüber Störungen aus der Mapping-Umgebung, einschließlich Streureflexionen.
- Benutzerfreundliche, direkt einsetzbare Schnittstelle erfordert keinerlei Verstärkung oder Signalkonditionierung und reduziert die Gesamtbetriebskosten.
- Störungsfreie Wafer-Mapping-Lösung zum Schutz wertvoller Wafer vor unbeabsichtigten Stößen.
- Keine beweglichen Teile, die Verunreinigungen durch Partikel verursachen können.
- Erkennt kreuzgeschlitzte und äußerst dünne Wafer.
- Hinweis: Der Steckverbinder ist optional und bei der Bestellung anzugeben.
