Cartographie de wafer EX-Q

Notre capteur de cartographie de wafer EX-Q offre une détection rapide et fiable des wafers de semiconducteurs et des erreurs d'emplacement dans les cassettes ou les FOUPs. Ce capteur prêt à l'emploi offre un headroom de détection ample (sensibilité), ce qui lui permet de détecter facilement les wafers fins et à revêtement sombre, de toutes les tailles. Il ne possède aucune pièce mobile pouvant créer une contamination par particules.

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Présentation

Caractéristiques

L'EX-QS est disponible en deux distances de sécurité : 1,5″ et 2,2″. L'EX-Q est disponible en 1,5” et 2,2”
Détecte les wafers clairs, foncés et à revêtement, avec différentes tailles et géométries de bord, sur le réglage de gain en usine.
Insensible aux interférences de l'environnement de cartographie, y compris les réflexions parasites.
L'interface directe, simple d'utilisation et prête à l'emploi, ne requiert pas d'amplification ni de conditionnement des signaux, et réduit le coût total de possession de l'outil.
La solution de cartographie de wafer non intrusive protège les wafers de valeur face aux chocs involontaires.
Aucune pièce mobile pouvant créer une contamination par particules.
Détecte les wafers ultrafins et à emplacements croisés.
Remarque : Le connecteur est en option et doit être sélectionné lors de la commande.