Aperçu

Améliorer les rendements

Améliorez les rendements et facilitez la maintenance prédictive grâce à un étalonnage précis lors du transfert des plaquettes.  

- Capturez rapidement les données de décalage (XY et Z) pour les positions de transfert du centre lorsque l'ACS de type plaquette se déplace à travers votre semi-conducteur équipement. 

- Améliorez le rendement de votre processus de fabrication avec un équipement correctement calibré. 

Répétable & Reproductible

Réaliser des configurations de semi-conducteurs répétables et reproductibles équipement.

Éliminez les variations entre techniciens grâce à l'étalonnage ACS qui permet des contrôles de configuration et de maintenance répétables et reproductibles.

Réduit équipement temps d'arrêt

Des heures à quelques minutes.

- Gagnez du temps lors du dépannage car le Appareils Mobiles et l'ACS compatible avec le vide permettent au équipement de rester scellé pendant l'inspection.
- Augmenter la disponibilité de équipement tout en réduisant les dépenses de main-d'œuvre et de consommables.

Dépannage de la vitesse

Dépannage plus rapide et réduction des coûts des consommables grâce à l'inspection visuelle.

- Recevoir des images en temps réel pendant que les robots déplacent l'ACS à travers l'outil. L'interface utilisateur graphique du logiciel NordsonSpectrum™ fournit des décalages x, y et z qui éliminent les conjectures.
- Inspectez l'espace entre la bague de mise au point et le mandrin du contrôleur de vitesse électronique (ESC).