WaferSense® Auto Vibration y Leveling Sensor™ (AVLS3)
Vibración en tiempo real y mediciones de nivelación rápidas.
Vídeo sobre los productos WaferSense® Auto Vibration y Leveling Sensor™ (AVLS3)
Información general
Acelere la homologación de equipos con mediciones inalámbricas.
Recopile y visualice datos de aceleración, vibración y nivelación. Utilice AVLS3 con el nuevo software CyberSpectrum™ para diagnosticar los equipos en tiempo real. Vea los efectos de las calibraciones en tiempo real, lo que agiliza la alineación y puesta a punto de los equipos.
Acorte los ciclos de mantenimiento de los equipos con un formato compacto y ligero similar a una oblea.
Acceda a más cámaras con el formato plano de 3.5 mm. Facilite la manipulación de las obleas y mejore la sujeción en vacío con el nuevo sustrato de vidrio endurecido químicamente (CHG). Mantenga las áreas de proceso no expuestas al entorno de la fábrica con AVLS3 compatible con vacío.
El nuevo modelo AVLS3H mejora su uso con platos de tres puntas de filo no simétrico, como los que se utilizan en calderas y otras aplicaciones.
Reduzca los gastos de mantenimiento de los equipos y optimice los procesos con datos objetivos y reproducibles.
Olvídese del factor humano a la hora de calibrar equipos con mediciones objetivas para múltiples aplicaciones en una sola herramienta. Haga los ajustes necesarios en cada momento. Reciba alertas anticipadas sobre fallos de los equipos y optimice sus planes de mantenimiento preventivo.
Características
| Inalámbrico, con forma de oblea y con batería | Disponible en 300 mm. Versiones AVLS3 y AVLS3H. |
| Reporta aceleraciones en tres dimensiones | x, y y z |
| Reporta la inclinación en dos dimensiones | x e y |
| Compacto | 3.5 mm, sustrato de vidrio laminado endurecido químicamente. |
WaferSense® Auto Leveling System 2 Vertical™ (ALS/ALS2V)
Permite acelerar el proceso de ajuste del ángulo de inclinación mediante la medición del cabeceo, el balanceo, el rebasamiento de la elevación y las inclinaciones verticales. Ajuste con rapidez y precisión el mismo nivel en todas las herramientas para garantizar la uniformidad del proceso.
Optimice la configuración de los equipos
Mida la inclinación de cajas, unidades FOUP, efectores finales, alineadores, bloqueos de carga, pasadores de transferencia y soportes de cámaras de proceso para definir las características de su equipo de producción. Compatible con obleas y vacío, no es necesario exponer las áreas de proceso al entorno de fabricación.
