概要

ワイヤレス測定による装置の検証を迅速に行います。

加速度による振動データを水準レベルデータを収集して表示します。ソフトウエアCyberSpectrum™とAVLS3ウエハを一緒に使います。装置の調整とセットアップをリアルタイムにフィードバック調整できます。

軽量でウエハライク形状のデバイスでメンテにかかる時間を減らし装置のダウンタイムを削減します。

厚み3.5mm（中央部170mm直径）にて多くのチャンバーに搬送することが可能。裏面は鏡面で1体型の強化ガラスなのでエアチャックなどのハンドリングが安易となります。真空互換性のあるAVLS3ならチャンバーを大気解放しなくて済むので時間とコストを削減できます。
新型のAVLS3Hであればコータデベ装置のスピンカップにおいてもエア漏れなく使用することが出来ます。

客観的で再現性のあるデータで装置別の機差を減らしプロセスの均一性を向上させることが出来ます。

装置メンテにおける個人差を減らし、装置間の機差を減らすことが可能。将来に向けて安定した高精度の調整を保つことが出来ます。N数の測定データにより装置のメンテナンス際繰りを最適化することが出来ます。