Panoramica

Migliora la resa e riduci la contaminazione causata dal particolato con una calibrazione precisa del passaggio del wafer.

Acquisisci dati offset per una calibrazione accurata delle posizioni di transfer come gli spostamenti ATS del wafer attraverso i macchinari dedicati alla produzione di semiconduttori. Migliora la resa del tuo processo di produzione con macchinari calibrati.

Ottieni configurazioni dei macchinari per la produzione di semiconduttori ripetibili e riproducibili.

Elimina le variazioni da tecnico a tecnico con il processo di calibrazione ATS che permette di eseguire configurazioni e controlli di manutenzione ripetibili e riproducibili.

Riduci i tempi di fermo dei macchinari da molte ore a pochi minuti.

La risoluzione dei problemi richiede meno tempo grazie all'ATS wireless e compatibile con il vuoto, dato che i macchinari rimangono sigillati durante l'ispezione. Aumenta la disponibilità dei macchinari e riduci le spese legate alla manodopera e ai materiali di consumo.

Velocizza la risoluzione dei problemi e riduci le spese dei materiali di consumo con l'ispezione visiva.

Ricevi immagini in tempo reale mentre i robot spostano ATS attraverso lo strumento. L'interfaccia utente grafica del nuovo software CyberSpectrum™ offre offset x, y e z che eliminano le congetture. Cerca i wafer persi e verifica che i piedistalli siano privi di detriti senza aprire lo strumento.