Übersicht

Verbessern Sie die Erträge und reduzieren Sie Verunreinigungen durch Partikel mithilfe einer genauen Kalibrierung der Wafer-Übertragung.

Erfassen Sie Versatzdaten für die genaue Kalibrierung von Übertragungspositionen, während sich das Wafer-ähnliche ATS durch Ihre Halbleiterausrüstung bewegt. Verbessern Sie die Erträge Ihres Fertigungsprozesses mit einer kalibrierten Ausrüstung.

Erstellen Sie wiederholbare und reproduzierbare Ausrüstungseinrichtungen für die Halbleiterfertigung.

Eliminieren Sie mit der ATS-Kalibrierung die Unterschiede von Techniker zu Techniker, um wiederholbare und reproduzierbare Einrichtungs- und Wartungsprüfungen zu unterstützen.

Reduzieren Sie die Ausfallzeiten für Ausrüstungen von Stunden auf wenige Minuten.

Die Fehlerbehebung mit dem drahtlosen und Vakuum-kompatiblem ATS nimmt weniger Zeit in Anspruch, da die Ausrüstung während der Inspektion versiegelt bleibt. Steigern Sie die Verfügbarkeit der Ausrüstung und reduzieren Sie Arbeits- und Materialkosten.

Beschleunigen Sie durch die visuelle Inspektion die Fehlerbehebung und senken Sie die Materialkosten.

Erhalten Sie Echtzeitbilder, während Roboter das ATS durch das Gerät bewegen. Die neue grafische Benutzeroberfläche CyberSpectrum™ stellt Daten zum x-, y- und z-Versatz bereit, die Schluss mit Vermutungen machen. Suchen Sie nach verlorenen Wafern und überprüfen Sie die Sockel auf Verunreinigungen, ohne das Gerät öffnen zu müssen.