概要

正確に位置決めされたウエハ搬送によりパーティクル汚染を低減させます。

半導体プロセス装置内にウエハライク形状のATS2を搬送させ搬送座標位置を正確に測定します。高精度に校正された装置により製造プロセスの歩留まりを向上させます。

半導体プロセス装置のセットアップにて非常に再現性の良いロボット教示を実現します。

ロボット教示における個人差を撲滅し、再現性のよい装置セットアップ及びメンテナンスを実現させます。

装置稼働のダウンタイムを大幅に削減（数時間から数分に！）

真空互換性があるワイヤレスデバイスのATS2なので、トラブル対策にかかる時間を大幅に削減させます。装置の稼働率を向上させ、作業時間と交換パーツにかかるコストを削減させます。

カメラによる目視確認によりトラブル対策にかかる時間とコストを削減します。。

装置内にてロボットがATS2を搬送し、リアルタイムに画像を取得できます。ソフトウエアCyberSpectrumのGUIにてウエハの位置する座標位置データを提供し、目視による人為的な誤差を排除します。™チャンバーを開けずにチャンバー内を目視確認することが可能。