概要

ワイヤレス測定なので、迅速に装置のクリーン度検証を実施

ソフトウエアCyberSpectrumとAPS3センサによりワイヤレスにパーティクルを表示することが出来ます。™ソフトウエアCyberSpectrumにより過去と現在のデータを比較することが可能™発塵源を迅速に見つけることでトラブルにかかる時間を大幅に削減し、リアルタイムにフィードバック調整することでクリーニングや調整の効果を確認できます。

ウエハ形状なので、装置のメンテナンスにかかる時間を大幅に短縮。

チャンバーを開けずに、大気解放せずに装置内のクリーン度をリアルタイムに確認することが可能です。薄型で軽量のAPS3ウエハであれば発塵がどの場所で、どのタイミングで発生しているのかを把握することが可能。汚れたチャンバーを迅速に見つけることが出来るので、そこだけをクリーニングすることが出来、作業効率が良くなります。汚れたチャンバーだけを対象に対処し、クリーンなチャンバーはそのままにしておくことができるので作業効率が良くなります。

再現性が良く客観的なデータで装置間の比較を行うことが可能

APS3技術を使えばモニター検証方式に用いるウエハの数を大幅に減少させることが可能蓄積されたデータにより装置の予防メンテナンスの時期を最適化することが出来ます。クリーン度のある装置から基準を設けて、他の装置のクリーン度を引き上げることが出来ます。