概述

通过无线测量加快设备验证。

使用 APS3 和 CyberSpectrum™ 软件无线收集和显示颗粒数据，以进行实时设备诊断。使用 ParticleSpectrum 比较过去和现在，设备以及一种工具™。通过快速定位污染源并实时查看清洁、调整和维修的效果来节省时间。

通过类似晶圆的外形缩短设备维护周期。

无需打开设备即可实时检测颗粒，因此无需’将工艺区域暴露在外。更薄、更轻的 APS3 可轻松找到颗粒污染晶圆的地方。一旦确定颗粒的位置，就可以选择性地清洁设备。仅打开脏的部分，让干净区域保持干净。

通过客观且可重复的数据降低设备费用。

利用 APS3 提高monitor晶圆的首次通过成功率、降低验证费用并提高可用性。接收即将发生的设备故障的早期预警并优化您的预防性维护计划。根据已知的干净设备建立基准，然后在使用monitor晶圆之前循环使用 APS3测试。