概述

通过无线量测，加速设备验证。

收集和显示加速度、振动、水平和湿度数据。监测晶圆所在环境中的湿度。使用配备了 CyberSpectrum™ 软件的自动多功能传感器，实时为设备做诊断。实时查看调整效果，加快设备对齐和设置。

借助轻薄的晶圆型传感器，缩短设备维护的周期。

更薄的 4.5 mm 尺寸规格适用于更多的腔室。可在较高的温度下工作。真空兼容的 AMS ，使工艺腔体不必破坏真空环境

更低的设备维护费用，通过客观和可重复的数据提高工艺均匀性。

将人为因素从调整设备的客观测量中剔除，实现一台设备多种应用。每次都能做出正确的调整。接收设备故障预警，优化预防性维护计划。