概要

ワイヤレス測定技術を使った迅速な装置検証能力を持ちます。

加速度振動、水準レベル、湿気データを収集して表示します。ウエハが感じる湿気を測定モニターします。ソフトウエアCyberSpectrumにより全ての測定を実施™リアルタイム測定なので装置のフィードバック調整が可能。

薄型で軽量のウエハ形状なので、装置のチャンバーを大気解放させずに作業出来るから非常に迅速に作業を行えます。

厚み4.5mmなので多くのチャンバーに入ることが可能です。より高い温度で駆動が可能。真空互換性があるのでチャンバーを大気解放させずに作業が可能。

客観的で再現性のあるデータでプロセスの均一性を向上させ装置のメンテナンスにかかるコストを削減させます。

非常に再現性のよい測定技術なので、装置の調整における個人差がありません。いつまでも正しい調整を提供します。将来的に劣化するパーツをN数のデータをベースに解析し最適なメンテナンスサイクルを提供できます。