WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)

Accélérez les mesures de vibration, de nivellement et d'humidité avec un dispositif de mesure tout-en-un. Optimisez les rendements.

Les fabricants de semi-conducteurs et les OEM du monde entier apprécient l'exactitude, la précision et la polyvalence du WaferSense AMS. Le dispositif le plus efficace pour la mesure sans fil du nivellement, des vibrations et de l'humidité.

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Présentation

Accélérez la qualification des équipements avec des mesures sans fil.

Collectez et affichez des données d'accélération, de vibration, de nivellement et d'humidité. Surveillez l'humidité dans les environnements de wafer. Utilisez l'Auto Multi Sensor avec le nouveau logiciel CyberSpectrum™ pour effectuer des diagnostics en temps réel de vos équipements. Constatez les effets des réglages en temps réel, en accélérant l'alignement et la configuration des équipements.

Raccourcissez les cycles de maintenance des équipements grâce à un facteur de forme fin et léger, de type wafer.

Le facteur de forme plus fin de 4,5 mm permet d'accéder à un plus grand nombre de chambres. Fonctionne à des températures plus élevées. Avec l'AMS compatible venturi, vous avez la garantie que les zones de processus ne sont pas exposées à l'environnement de fabrication.

Réduisez les dépenses de maintenance des équipements et améliorez l’uniformité des processus grâce à des données objectives et reproductibles.

Éliminez l’élément humain dans le réglage de vos équipements avec des mesures objectives pour plusieurs applications en une seule. Faites les bons ajustements à chaque fois. Recevez une alerte précoce en cas de panne imminente de l’équipement et optimisez vos plans de maintenance préventive.

Caractéristiques


Sans fil, en forme de wafer et alimenté par batterie	Disponible en 150 mm, 200 mm, 300 mm. Fin, 4,5 mm d'épaisseur
Rapporte les accélérations en trois dimensions	x, y et z