개요

무선 측정으로 장비 기준 충족 속도를 높이십시오.

가속화, 진동, 레벨링 및 습도 데이터를 수집하고 표시하십시오. 웨이퍼 환경의 습도를 모니터링하십시오. 실시간 장비 진단을 위해 새로운 CyberSpectrum™ 소프트웨어가 탑재된 자동 다중 센서를 사용하십시오. 장비 정렬 및 설정 속도를 높여 주는 실시간 조정의 효과를 확인하십시오.

얇고 가벼우며 웨이퍼와 유사한 폼 팩터로 장비 정비 주기를 단축하십시오.

더욱 얇은 4.5mm 폼 팩터로 더 많은 챔버에 접근할 수 있습니다. 더 높은 온도에서 작동합니다. 진공 양립 AMS로 공정 구역이 팹 환경에 노출되지 않도록 하십시오.

객관적이고 재현 가능한 데이터로 장비 정비 비용을 낮추고 공정 균일성을 개선하십시오.

많은 적용 사례의 객관적인 측정값을 하나로 정리한 결과물로 장비 조정에서 사람 개입 요소를 해소하십시오. 몇 번이든 올바르게 조정하십시오. 장비 고장이 임박하면 미리 경고가 제공되어 예방 정비 계획을 최적화할 수 있습니다.