Nuestras tecnologías: WaferSense® y ReticleSense®.

WaferSense® & ReticleSense®
Dispositivos de medición inalámbricos

Mejora los procesos de rendimiento y la productividad.

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Mejora los procesos de rendimiento y la productividad.


Cuando necesite los dispositivos de medición más eficientes y efectivos para los procesos de configuración y mantenimiento de herramientas de semiconductores, cuente con Nordson Test & Inspection, el líder del mercado mundial en dispositivos de medición inalámbricos de semiconductores para el ajuste de la separación de la cámara, la nivelación, la enseñanza de la transferencia de obleas, la vibración, las partículas en suspensión, la humedad relativa y la medición de la resistencia.

Las fábricas de semiconductores y los fabricantes de equipos originales (OEM) valoran la exactitud, la precisión y la versatilidad de la gama de sistemas de medición WaferSense® y ReticleSense® para mejorar el rendimiento de las fábricas y el tiempo de actividad de los equipos.


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Probado y adoptado

  • Las principales fábricas de semiconductores del mundo han adoptado los dispositivos de medición inalámbricos de CYBE.
  • Adoptado como el mejor método conocido (BKM)

Más eficiente & Eficaz

  • Viaja a cualquier lugar donde viaje una oblea o una retícula.
  • Las calibraciones pueden realizarse mediante procesos en cámara cerrada.
  • Proporciona datos en tiempo real precisos, fiables y repetibles que ahorran tiempo y dinero en comparación con los métodos tradicionales.

Ahorra tiempo y dinero &

  • Mejora el rendimiento y el tiempo de actividad de las herramientas.
  • Aumenta el rendimiento
  • Reduce las necesidades de recursos
  • Acelera la configuración de los equipos, los procesos de mantenimiento, la resolución de problemas, la cualificación y la puesta en producción.
  • Acelera la optimización, estabilización y estandarización de las herramientas.
  • Optimiza los procesos de fabricación. Establece estándares repetibles y verificables.

WaferSense® y ReticleSense®

Mejora los procesos de rendimiento y la productividad.

WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)

Mejorar la uniformidad y el rendimiento con Wireless WaferSense AGS2 para obtener configuraciones precisas y repetibles.

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WaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)

Acelere las mediciones de vibraciones, nivelación y humedad con un dispositivo de medición todo en uno. Mejore los...

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WaferSense® Auto Vibration y Leveling Sensor™ (AVLS3)

Vibración en tiempo real y mediciones de nivelación rápidas.

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WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)

Registre datos de desplazamiento tridimensionales (x, y y z) para conocer rápidamente las posiciones de transferencia...

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WaferSense® Airborne Particle Sensor™ (APS3)

Mejore la preparación de los equipos y el rendimiento a largo plazo monitorizando de forma inalámbrica las partículas...

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WaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)

Medición en tiempo real de la resistencia de los contactos de la célula de revestimiento.

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WaferSense® Auto Vibration System™ (AVS)

Aceleraciones y vibraciones de 3 ejes con control de velocidad para reducir las partículas, el tiempo de mantenimiento...

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ReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)

Acelere las mediciones de vibraciones, nivelación y humedad con un dispositivo de medición todo en uno. Mejore los...

Más información

ReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR)

Mejore la configuración de los equipos y el rendimiento a largo plazo gracias a la captura de datos de desviación en...

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ReticleSense® Airborne Particle Sensor™ (APSR/APSRQ)

Mejore la preparación de los equipos y el rendimiento a largo plazo monitorizando de forma inalámbrica las partículas...

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Sistema de Centrado Automático™ (ACS)

Rapidez para lograr una calibración precisa de la colocación de las obleas, una alineación adecuada y configuraciones...

Más información

Sistema de separación automática de obleas WaferSense® (AGS)


  • Consiga rápidamente la separación exacta que necesita, utilizando las lecturas de la cámara a la presión del proceso en formato numérico y gráfico, con el software CyberSpectrum™ de fácil uso.
  • Consiga la mejor uniformidad, tanto si necesita establecer una separación perfectamente paralela como si necesita una ligera inclinación. Mejore la uniformidad del proceso entre herramientas mediante ajustes de holgura objetivos y repetibles.
  • Tenga la tranquilidad de eliminar la variable humana en el ajuste de su equipo.
  • Realiza los ajustes correctos una y otra vez.







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Sistema de aprendizaje automático WaferSense® (ATS2)


  • El sistema de enseñanza automática™ (ATS2) mejora el rendimiento y reduce la contaminación por partículas gracias a una calibración precisa en la transferencia de obleas.
  • Capture datos de desplazamiento para una calibración precisa de las posiciones de transferencia a medida que el ATS2, similar a una oblea, se mueve a través de su equipo de semiconductores.
  • Mejore el rendimiento de su proceso de fabricación con equipos debidamente calibrados. Logre configuraciones de equipos de semiconductores repetibles y reproducibles.
  • La calibración ATS2 elimina la variabilidad entre técnicos, lo que permite realizar comprobaciones de configuración y mantenimiento repetibles y reproducibles.




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Sistema de centrado automático WaferSense® (ACS)


  • "Vea" el interior del equipo para capturar datos de desplazamiento dimensional (x, y y z) para centrar rápidamente las posiciones de transferencia de la oblea.
  • Mejora el rendimiento y facilita el mantenimiento predictivo mediante una calibración precisa de la transferencia de obleas. Capture datos de desplazamiento para una calibración precisa de las posiciones de transferencia a medida que el ACS, similar a una oblea, se mueve a través de su equipo de semiconductores.
  • Lograr configuraciones de equipos de semiconductores repetibles y reproducibles. Elimine la variabilidad entre técnicos con la calibración del ACS, lo que permite realizar comprobaciones de configuración y mantenimiento repetibles y reproducibles.
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Registre su producto WaferSense®


Registrar su producto WaferSense® y/o ReticleSense® le ayudará a controlar la fecha de vencimiento de la calibración, lo que le permitirá programar este servicio cuando le resulte conveniente. Por favor, dedique un momento a completar el formulario de registro del producto.
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Como líder del sector, Nordson Test & Inspection está a la vanguardia en investigación y desarrollo. Lea estudios de caso e informes técnicos sobre los últimos avances en equipos de inspección y metrología.

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