Join our webinar series to learn how Nordson TEST & INSPECTION WaferSense® sensors can improve your semiconductor yields, processes and productivity.
The series features:
August 7: Auto Teaching System™ (ATS2) Wafer
August 14: Airborne Particle Sensor™ (APS) Wafer and Inline Particle Sensor™ (IPS)
August 21: Auto Multi Sensors™ (AMS & AVLS) Wafers
August 28: Auto Gapping System™ (AGS) Wafer
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August 7 - Auto Teaching System™ (ATS2) Wafer
The next webinar is Wednesday, August 7, 2024 featuring Auto Teaching (ATS2) Wafer
Two On-board image processors report x-y-z offset from the teaching wafer to a target inside the equipment so you can teach wafer transfer coordinates.
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August 14 - Airborne Particle Sensor™ (APS) Wafer and Inline Particle Sensor™ (IPS)
The APS technology enables equipment engineers to shorten equipment qualification, release to production and maintenance cycles, all while reducing expenses. Customers have experiences up to 88% time savings, up to 95% reduction in costs and up to 20X the throughput with half the manpower requirements by using the APS technology relative to legacy surface scan wafers.
Based on our WaferSense® Airborne Particle Sensor™ technology, IPS utilizes a high power blue laser to quickly monitor, identify and enable troubleshooting of particles as small as 0.1µm
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August 21 - Auto Multi Sensors™ (AMS & AVLS) Wafers
Semiconductor fabs and OEMs worldwide value the accuracy, precision and versatility of the WaferSense AMS – The most efficient and effective wireless measurement device for leveling, vibration and humidity.
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August 28 - Auto Gapping System™ (AGS) Wafer
Speeds non-contact gap measurements and parallelism adjustments under vacuum for semiconductor processes such as thin-film deposition, sputtering and etch. Improves uniformity, tool availability and repeatability.
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Was ist WaferSense®?
Leichte, batteriebetriebene, scheibenförmige oder rasterförmige Sensoren
Durchläuft das Werkzeug wie ein Standardwafer (FOUP > LL > Prozesskammer usw.).
Erfasst wichtige Messwerte via Bluetooth oder WLAN
Liefern Sie präzise, zuverlässige und reproduzierbare Ergebnisse.
Echtzeitmessungen, Überwachung und erweiterte Funktionen aktivieren Datenprotokollierung
Vakuumkompatibel – <10e-6 bis 760 Torr (1 atm)
Beinhaltet die CyberSpectrum-Software (unbegrenzte Lizenzen und Schulungen verfügbar)
Zwei integrierte Bildprozessoren melden den x-y-z-Offset vom Lehrwafer zu einem Ziel innerhalb des Geräts, damit Sie die Wafer-Transferkoordinaten lehren können.
Verbessern Sie die Ausbeute und reduzieren Sie den Partikelanteil Verschmutzung durch eine präzise Wafer-Übergabekalibrierung.
Erreichen Sie wiederholbare und reproduzierbare Aufbauten von Halbleiteranlagen.
Reduzieren Sie die Gerätezeit Maschinenstillstandszeit von Stunden auf Minuten.
Schnellere Fehlersuche und geringere Kosten für Verbrauchsmaterialien durch Sichtprüfung.
Wir freuen uns darauf, Sie bei der Veranstaltung begrüßen zu dürfen!
Kontaktieren Sie Nordson Test & Inspektion
Wir helfen Ihnen gerne dabei, Inspektions- und Messsysteme sowie Sensoren zu finden, die Ihren Anforderungen entsprechen.