WaferSense® & ReticleSense®
Mobilgeräte Messgeräte
Verbessert Ertrag, Prozesse und Produktivität
Verbessert Ertrag, Prozesse und Produktivität
Wenn Sie die effizientesten und effektivsten Messgeräte für die Einrichtung und Wartung von Halbleiteranlagen benötigen, setzen Sie auf Nordson Inspection, den Weltmarktführer für Halbleitermessgeräte zur Messung von Kammerabstand, Nivellierung, Wafer-Übergabe, Vibrationen, Partikeln in der Luft, relativer Luftfeuchtigkeit und Widerstand. &
Halbleiterhersteller und OEMs schätzen die Genauigkeit, Präzision und Vielseitigkeit des WaferSense®- und ReticleSense®-Messportfolios, um Verbesserungen bei der Fabrikausbeute und der Ausrüstung zu ermöglichen. Test
Bewährt und übernommen
- Die größten Halbleiterhersteller weltweit haben die Messgeräte von CYBE (Mobilgeräte) eingeführt.
- Angenommen als die beste bekannte Methode (BKM)
Am effizientesten & Effektiv
- Bewegt sich überall dorthin, wo sich ein Wafer oder ein Fadenkreuz bewegt.
- Kalibrierungen können in geschlossenen Kammern durchgeführt werden.
- Liefert präzise, zuverlässige und reproduzierbare Echtzeitdaten, die im Vergleich zu herkömmlichen Methoden Zeit und Kosten sparen.
Zeit und Kosten sparen &
- Verbessert die Ausbeute und das Werkzeug Verfügbarkeit
- Erhöht Verfügbarkeit
- Reduziert den Ressourcenbedarf
- Beschleunigt die Geräteeinrichtung, Wartungsprozesse, Fehlersuche, Qualifizierung und Freigabe für die Produktion.
- Beschleunigt die Werkzeugoptimierung, -stabilisierung und -standardisierung.
- Optimiert Fertigungsprozesse. Legt wiederholbare und überprüfbare Standards fest.
WaferSense® und ReticleSense®
Verbessert Ertrag, Prozesse und Produktivität
WaferSense® Auto Gapping System 2™ (AGS2)
Verbessern Sie Uniformität und Ertrag mit dem kabelgebundenen WaferSense AGS2 für präzise und wiederholbare...
WeiterWaferSense® Auto Multi Sensor™ (AMS)
Beschleunigen Sie Vibrations-, Leveling- und Feuchtigkeitsmessungen mit einem All-in-one-Messgerät. Verbessern Sie den...
WeiterWaferSense® Auto Vibration and Leveling Sensor™ (AVLS3)
Schnellere Vibrations- und Leveling-Messungen in Echtzeit.
WeiterWaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)
Erfassen Sie dreidimensionale Versatzdaten (x, y und z), um schnell Wafer-Übertragungspositionen zu trainieren.
WeiterWaferSense® Airborne Particle Sensor™ (APS3)
Verbessern Sie die Geräteeinrichtung und langfristige Erträge durch die kabellose Überwachung von Schwebpartikeln in...
WeiterWaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)
Echtzeitmessung des Widerstands von Beschichtungszellenkontakten.
WeiterWaferSense® Auto Vibration System™ (AVS)
Beschleunigen Sie die Beobachtung von 3-Achsen-Beschleunigungen und Vibrationen, um Partikel, Wartungs- und...
WeiterReticleSense® Auto Multi Sensor™ (AMSR)
Beschleunigen Sie Vibrations-, Leveling- und Feuchtigkeitsmessungen mit einem All-in-one-Messgerät. Verbessern Sie den...
WeiterReticleSense® Auto Teaching System™ (ATSR)
Verbessern Sie die Geräteeinrichtung und langfristige Erträge durch die kabellose Erfassung dreidimensionaler...
Weiter
ReticleSense® Airborne Particle Sensor™ (APSR/APSRQ)
Verbessern Sie die Geräteeinrichtung und langfristige Erträge durch die kabellose Überwachung von Schwebpartikeln in...
Weiter
Auto Centering System™ (ACS)
Geschwindigkeit bei der Erzielung einer genauen Waferplatzierungskalibrierung, korrekten Ausrichtung und Einrichtung.
Weiter
WaferSense® Auto Gapping System™ (AGS)
- Mit der benutzerfreundlichen Software CyberSpectrum™ erreichen Sie schnell und präzise den benötigten Spalt, indem Sie die Kammermesswerte bei Prozessdruck in numerischer und grafischer Form nutzen.
- Erzielen Sie die beste Gleichmäßigkeit, egal ob Sie einen perfekt parallelen oder einen leicht geneigten Spalt einstellen müssen. Verbesserung der Prozessgleichmäßigkeit zwischen den Werkzeugen durch objektive und wiederholbare Spalteinstellungen.
- Sorgen Sie für ein beruhigendes Gefühl, indem Sie den menschlichen Faktor bei der Justierung Ihrer Geräte eliminieren.
- Treffen Sie immer wieder die richtigen Anpassungen.
WaferSense® Auto Teaching System™ (ATS2)
- Auto Teaching System™ (ATS2) Verbessert die Ausbeute und reduziert den Partikelanteil durch präzise Wafer-Übergabekalibrierung.
- Erfassen Sie Offsetdaten für eine genaue Kalibrierung der Transferpositionen, während sich der waferähnliche ATS2 durch Ihre Halbleiteranlagen bewegt.
- Steigern Sie die Ausbeute Ihrer Mobilgeräte-Anlage mit korrekt kalibrierten Geräten. Erzielen Sie wiederholbare und reproduzierbare Setups für Halbleiteranlagen.
- Durch die Kalibrierung mit ATS2 werden Abweichungen zwischen verschiedenen Technikern beseitigt, was wiederholbare und reproduzierbare Einrichtungs- und Wartungsprüfungen ermöglicht.
WaferSense® Auto Centering System (ACS)
- „Sehen“ Sie in die Ausrüstung hinein, um dimensionale Versatzdaten (x, y und z) zu erfassen und so die Wafer-Transferpositionen schnell zu zentrieren.
- Verbesserte Erträge und vorausschauende Wartung durch präzise Wafer-Übergabekalibrierung. Erfassen Sie Offsetdaten für eine genaue Kalibrierung der Transferpositionen, während sich der waferartige ACS durch Ihre Halbleiteranlagen bewegt.
- Erreichen Sie wiederholbare und reproduzierbare Aufbauten von Halbleiteranlagen. Durch die ACS-Kalibrierung, die wiederholbare und reproduzierbare Einrichtungs- und Wartungsprüfungen ermöglicht, werden Abweichungen zwischen verschiedenen Technikern beseitigt.
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Weiße Veröffentlichungen und Kundenfallstudien
Als Branchenführer ist Nordson Test & Inspection führend in Forschung und Entwicklung. Lesen Sie Fallstudien und Whitepapers zu den neuesten Entwicklungen im Bereich der Inspektions- und Messtechnik.
Ein universelles KI-gestütztes Segmentierungsmodell für PCBA und Halbleiter
Die Integration von künstlicher Intelligenz (KI) in automatisierte optische Inspektionssysteme (AOI) für...
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Deep Learning liefert schnelle und präzise Lösungen für die Objekterkennung bei der automatisierten optischen Inspektion elektronischer Baugruppen
Wenn die automatisierte optische Inspektion (AOI) funktioniert, ist sie fast immer der menschlichen visuellen...
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Neue wafer- und rasterförmige Sensoren ermöglichen schnelle und einfache Messungen innerhalb der Prozesskammer
Die Einrichtung und Wartung von Anlagen zur Halbleiterfertigung kann mühsam, zeitaufwändig und teuer sein und...
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Die integrierte Partikelmessung in der Luft ermöglicht eine schnellere Reaktion auf Verschmutzung-Ausflüge
Feine Partikel (mit einem Durchmesser von weniger als 5 Mikrometern) beeinträchtigen die meisten industriellen Prozesse...
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