概述

提高产量

通过精确的晶圆交接校准，提高良率并有助于预测性维护。  

- 当晶圆状 ACS 通过半导体设备时，快速捕获中心转移位置的偏移（XY 和 Z）数据。 

- 使用经过适当校准的设备提高您的规格与参数产量。 

可重复 & 可重现

实现可重复、可复现的半导体设备配置。

通过 ACS 校准消除技术人员之间的差异，从而实现可重复和可再现的设置和维护检查。

减少设备停机时间

从小时到分钟。

- 由于 No Translation Needed 和真空兼容的 ACS 允许设备在检查期间保持密封状态，因此可以节省故障排除时间。
- 提高设备可用性，同时减少人力和耗材成本。

速度故障排除

通过目视检查加快故障排除速度并降低耗材费用。

- 接收机器人将 ACS 移动到工具中的实时图像。 NordsonSpectrum™ 软件图形用户界面提供 x、y 和 z 偏移量，消除猜测。
- 检查对焦环和电子调焦夹头之间的间隙。