Nordson MARCH StratoSPHEREプラズマ処理システムは、最大6つのチャンバーに拡張され、吐出量 と柔軟性が向上しました

米国カリフォルニア州コンコード – 2015年8月19日 - プラズマ処理技術の世界的リーダーであるNordson (NASDAQ:NDSN) の子会社であるNordson MARCHは、ウェハレベルおよび3Dアプリケーション向けのStratoSPHERE™ シリーズ プラズマ処理装置が、2室、4室、さらには6室構成で構成できるようになり、処理能力と柔軟性が向上したことを発表しました。 SPHERE™ プラズマ システムは、特に2.5Dおよび3Dウェーハ レベル ファンアウトなどのアプリケーション向けに、半導体製造プロセス中のアッシング、デスカム、バンプ、有機汚染物質の除去、ウェーハのストレス解消のための表面処理と汚染物質の除去を提供します。

StratoSPHEREシステムの特許取得済みプラズマ チャンバー設計により、優れた灰化均一性とプロセス再現性が実現します。 このシステムは、直径最大300 mm (12インチ) の半導体ウェハーを処理し、円形または角形のウェハーの自動処理をサポートします。 ウェーハの厚さに応じて、キャリアの有無にかかわらず薄いウェーハを処理できます。

「Nordson MARCHは、2.5Dや3Dのファンインおよびファンアウト アプリケーションなど、進化する半導体 包装 の需要を満たすために、SPHEREシリーズのプラズマ処理システムを継続的に強化しています」と、Nordson MARCHのマーケティング ディレクターのJonathan Doan氏は述べています。 「新しいStratoSPHERE構成は、現在市場に出回っている他のプラズマ システムと比較して、チャンバーのレイアウトと位置の点でより優れています。 当社の装置は フレキシブルノズル であり、さまざまなプラズマ処理プロセスに最適です。」

Nordson MARCHの技術専門家は、9月2日から4日まで台湾の台北市にあるTWTC南港展示ホールで開催されるSEMICON Taiwan 2015のブース #450に常駐し、お客様のアプリケーションについてご相談に応じます。 詳細情報や予約については、Nordson MARCH（[email protected]）までお問い合わせいただくか、+886.963.004.675までお電話ください。