Registre dados de deslocamento tendo em vista a calibração precisa das posições de transferência à medida que o ATSR semelhante a retículo percorre o equipamento semicondutor. Melhore o resultado do processo de fabricação com equipamento devidamente calibrado.

Melhore os resultados e diminua a contaminação por partículas com uma calibração de entrega de retículo precisa. Registre dados de deslocamento tendo em vista a calibração precisa das posições de transferência à medida que o ATSR semelhante a retículo percorre o equipamento semicondutor. Melhore o resultado do processo de fabricação com equipamento devidamente calibrado. Consiga configurações de equipamento semicondutor repetíveis e reproduzíveis. Elimine variações de técnico para técnico com a calibragem ATSR que possibilita verificações de configuração e manutenção repetíveis e reproduzíveis. Reduza o tempo de inatividade do equipamento de horas para minutos. Economize tempo solucionando problemas com o ATSR compatível com vácuo e sem fio permitindo que o equipamento permaneça vedado durante a inspeção. Aumente a disponibilidade do equipamento, ao mesmo tempo em que reduz a despesa com mão de obra e consumíveis. Agilize a solução de problemas e diminua a despesa com consumíveis com inspeção visual. Receba imagens em tempo real à medida que os robôs avançam o ATSR pela ferramenta. A nova interface gráfica do usuário do software CyberSpectrum™ apresenta deslocamentos x, y e z que eliminam a adivinhação. Procure wafers perdidos e detritos de pedestal sem a abertura da ferramenta.