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ReticleSense® Auto Teaching System™(ATSR)
3차원 오프셋 데이터(x, y, z)를 실시간으로 무선 캡처하여 레티클 이송 위치를 빠르게 티칭함으로써 반도체 도구를 적절하게 정렬하고 설정하여 장비 설정 및 장기 수율을 향상하십시오.
제품 비디오 ReticleSense® Auto Teaching System™(ATSR)
데모 프레젠테이션 ReticleSense® Auto Teaching System™(ATSR)
개요
정확한 레티클 전달 보정으로 수율을 향상하고 미립자 오염을 줄이십시오.
오프셋 데이터를 캡처하여 레티클과 유사한 ATS가 반도체 장비를 통과하여 이동할 때의 이송 위치를 정확하게 보정하십시오. 적절하게 보정된 장비로 제조 공정의 수율을 향상하십시오.
반복 및 재현 가능한 반도체 장비 설정을 달성하십시오.
반복 및 재현 가능한 설정과 정비 점검을 확보해 주는 ATSR 보정으로 기술자 간 변동을 해소하십시오.
장비 중단 시간을 몇 시간에서 단 몇 분으로 줄이십시오.
무선 및 진공 양립 ATSR을 이용하면 점검 중에 장비가 밀봉 상태를 유지하므로 문제 해결에 걸리는 시간을 절약할 수 있습니다. 장비 가용성을 증대하는 동시에 인력 및 소모품 비용을 줄이십시오.
시각적 점검으로 문제 해결 속도를 높이고 소모품 비용을 낮추십시오.
정확한 레티클 전달 보정으로 수율을 향상하고 미립자 오염을 줄이십시오. 오프셋 데이터를 캡처하여 레티클과 유사한 ATS가 반도체 장비를 통과하여 이동할 때의 이송 위치를 정확하게 보정하십시오. 적절하게 보정된 장비로 제조 공정의 수율을 향상하십시오. 반복 및 재현 가능한 반도체 장비 설정을 달성하십시오. 반복 및 재현 가능한 설정과 정비 점검을 확보해 주는 ATSR 보정으로 기술자 간 변동을 해소하십시오. 장비 중단 시간을 몇 시간에서 단 몇 분으로 줄이십시오. 무선 및 진공 양립 ATSR을 이용하면 점검 중에 장비가 밀봉 상태를 유지하므로 문제 해결에 걸리는 시간을 절약할 수 있습니다. 장비 가용성을 증대하는 동시에 인력 및 소모품 비용을 줄이십시오. 시각적 점검으로 문제 해결 속도를 높이고 소모품 비용을 낮추십시오. 로봇이 기계를 통과하여 ATSR을 이동할 때 실시간 이미지를 받으십시오. 새로운 CyberSpectrum™ 소프트웨어 그래픽 사용자 인터페이스는 x, y, z 오프셋을 제공하므로 어림짐작이 필요하지 않습니다. 도구를 열지 않고도 손실된 웨이퍼 및 받침판을 찾을 수 있습니다.
특징
| 무선, 레티클 형상 및 배터리 구동 | 6인치 레티클 형상 폼 팩터로 제공 |
| 온보드 카메라 | 티칭에서 장비 내부의 엣지로 x-y-z 오프셋을 보고하므로 카메라 5개로 레티클 이송 좌표를 티칭할 수 있습니다. 이미지는 컬러이며 흰색 조명이 있습니다. |
| 사용하기 쉬운 소프트웨어 | CyberSpectrum 소프트웨어가 포함되어 있습니다. CyberSpectrum: 목표 형상의 실시간 비디오 및 측정값을 표시하고, 오프셋과 사용자 의견을 기록합니다. 검토 기능이 통합되어 있어 검토 및 분석을 위해 로그 파일 데이터를 재생할 수 있습니다. |
| 내구성이 우수한 하우징 | 대부분의 마스크 장비 및 스캐너와 호환되는 레티클 쿼츠 하우징입니다. |
| 가볍고 레티클과 유사한 질량 및 질량 분포 | 230gm ±10% |
| 본체 두께 | 본체: 6.35mm, 표준 6인치 레티클 형태 |
| 작동 압력 | <10-6~760토르 |
| 작동 온도 | 섭씨 20~60도 |
| 무선 통신 모드 | Bluetooth |
| 운영 체제 | Windows 10 |
| 제품 구성 요소 | 티칭 기기, 충전 청소 케이스, 이동용 가방, 부속품 통신 게이트웨이 |
| 보정 | 매년 출고 상태 재보정 권장 |
| 배터리 작동 | 충전당 2시간 미만 |
| 작동 거리 | 38mm~42mm |
| 측정 반복성 | 정격 초점에서 0.025mm* |
| 정확도 | 정격 초점에서 0.050mm* |