Permite capturar datos de desplazamiento para calibrar con precisión las posiciones de transferencia a medida que el ATSR en forma de retícula se desplaza por su equipo de semiconductores. Mejore el rendimiento de su proceso de fabricación con equipos calibrados correctamente.

Mejore el rendimiento y reduzca la contaminación por partículas con una calibración precisa en la transferencia de retículas. Permite capturar datos de desplazamiento para calibrar con precisión las posiciones de transferencia a medida que el ATSR en forma de retícula se desplaza por su equipo de semiconductores. Mejore el rendimiento de su proceso de fabricación con equipos calibrados correctamente. Logre implantaciones de equipos de semiconductores repetibles y reproducibles. Elimine las posibles diferencias entre técnicos gracias al proceso de calibración ATSR, que permite realizar comprobaciones de configuración y mantenimiento repetibles y reproducibles. Reduzca el tiempo de inactividad de los equipos de horas a minutos. Ahorre tiempo en la resolución de problemas, ya que el sistema ATSR inalámbrico y compatible con el vacío permite que el equipo permanezca sellado durante la inspección. Aumente la disponibilidad de los equipos y reduzca los gastos en mano de obra y consumibles. Acelere la resolución de problemas y reduzca el gasto en consumibles con inspecciones visuales. Reciba imágenes en tiempo real a medida que los robots utilizan la herramienta. La nueva interfaz gráfica de usuario del software CyberSpectrum™ permite calcular los desplazamientos en x, y y z sin necesidad de hacer estimaciones. Busque obleas perdidas y verifique que los soportes no tengan residuos sin abrir la herramienta.