在光罩形 ATSR 移动通过您的半导体设备时，捕捉偏移数据，准确校准传输位置。使用校准得当的设备，提高生产过程中的良率。

通过准确的光罩handoff校准，提高产量和降低颗粒污染。在光罩形 ATSR 移动通过您的半导体设备时，捕捉偏移数据，准确校准传输位置。使用校准得当的设备，提高生产过程中的良率。实现可重复和可复制的半导体设备安装。通过 ATSR 校准消除技术人员之间的差异，实现可重复和可复制的安装和维护检查。设备停机时间从几小时缩短到几分钟。无线和真空兼容的 ATSR 允许设备在检查期间保持密封，缩短排除故障的时间。提高设备的可用性，同时降低人力和消耗品费用。快速排除故障，降低耗材费用与目视检查。接机械臂移动 ATSR 通过设备时的实时图像。全新 CyberSpectrum™ 软件图形用户界面显示 x、y 和 z 偏移量，不再需要靠猜测。在不打开工具的情况下搜索丢失的晶圆和基座碎片。