Panoramica

Velocizza la qualifica dei macchinari con misurazioni wireless.

Raccogli e mostra i dati relativi all'accelerazione utilizzando la soluzione AVS e il software CyberSpectrum™ per la diagnostica dei macchinari in tempo reale. Osserva gli effetti delle regolazioni in tempo reale, velocizzando l'allineamento e la configurazione dei macchinari.

Riduci i cicli di manutenzione dei macchinari con un fattore di forma simile a un accelerometro.

Osserva e ottimizza wafer, casette, SMIF e movimenti FOUP utilizzando l'accelerometro sui tre assi AVS. Individua scivolamenti, spostamenti, urti, materiali di scarto e cattiva movimentazione dei wafer in tempo reale con la soluzione AVS compatibile con il vuoto, senza aprire lo strumento. Ottimizza i parametri di movimento una volta identificata la posizione o l'assenza di danni al wafer.

Riduci le spese dei macchinari con dati obiettivi e riproducibili.

Definisci una linea di base partendo da uno strumento pulito noto, poi utilizza AVS come wafer fittizio per verificare che le operazioni della linea di base proseguano. Ricevi allarmi tempestivi per guasti imminenti ai macchinari e ottimizza i tuoi piani di manutenzione preventiva.

Ottimizza la produttività e la resa dei macchinari massimizzando l'accelerazione e riducendo al minimo la vibrazione.

I profili e le traiettorie ottimizzati degli spostamenti riducono al minimo i tempi di ciclo e la gestione senza intoppi e priva di vibrazioni riduce al minimo gli elementi in grado di aggiungere particelle.