Sistema di centraggio automatico™ (ACS)
Velocità nel raggiungimento di una calibrazione accurata del posizionamento dei wafer, un corretto allineamento e impostazioni precise.
Panoramica
Migliorare le rese
Migliora la resa produttiva e facilita la manutenzione predittiva grazie alla calibrazione accurata del passaggio di consegne dei wafer.
- Acquisisci rapidamente i dati di offset (XY e Z) per le posizioni di trasferimento centrali mentre il sistema ACS, simile a un wafer, si sposta attraverso le tue apparecchiature per semiconduttori.
- Migliora la resa del tuo processo di produzione con attrezzature correttamente calibrate.
Ripetibile & Riproducibile
Consentire configurazioni ripetibili e riproducibili delle apparecchiature per semiconduttori.
Elimina le variazioni tra i tecnici grazie alla calibrazione ACS, che consente verifiche di configurazione e manutenzione ripetibili e riproducibili.
Riduce le attrezzature Tempo di fermo macchina
Dalle ore ai minuti.
- Risparmia tempo nella risoluzione dei problemi grazie al sistema ACS compatibile con Wireless e con il vuoto, che consente alle apparecchiature di rimanere sigillate durante l'ispezione.
- Aumentare la disponibilità delle apparecchiature riducendo al contempo la manodopera e le spese per i materiali di consumo.
Risoluzione dei problemi di velocità
Risoluzione dei problemi più rapida e riduzione dei costi dei materiali di consumo grazie all'ispezione visiva.
- Ricevere immagini in tempo reale mentre i robot spostano l'ACS attraverso l'utensile. L'interfaccia utente grafica del software NordsonSpectrum™ fornisce offset x, y e z che eliminano le congetture.
- Verificare lo spazio tra l'anello di messa a fuoco e il mandrino ESC.
Funzionalità e software
| Preliminare Specifiche tecniche | |
|---|---|
| Fattore di forma | 300 mm |
| Software | Spettro |
| Precisione | 0,075 mm alla messa a fuoco nominale² |
| Materiale per l'edilizia | Fibra di carbonio |
| Risoluzione | Centratura da 35 mm |
| Spessore | 4,5 mm |
| Peso | <280 g |
| Pressione di esercizio | <10⁻⁶ a 760 torr |
| Temperatura | Da 20 a 60 °C |
Durata della batteria |
Meno di 2 ore per carica |
Distanza di lavoro |
Da 12 mm a 25 mm |
| Ripetibilità della misurazione | 0,035 mm alla messa a fuoco nominale |
Comunicazione |
Wifi |
Sistema operativo |
Windows 11 |
Componenti del prodotto |
Dispositivo didattico, custodia di ricarica pulita, valigia di trasporto, gateway di comunicazione accessorio |
Fotocamera di bordo |
Segnala l'offset x-y-z dall'insegnamento ai bordi all'interno dell'apparecchiatura In questo modo è possibile insegnare le coordinate di trasferimento del reticolo con 5 telecamere. Immagini a colori con illuminazione Bianco |
Calibrazione |
Si consiglia la ricalibrazione in fabbrica ogni anno. |
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