AMI SpinSAM Lite
Ispezione e analisi senza operatore
Lo strumento di ispezione automatizzato SpinSAM Lite offre un'elevata portata e una migliore sensibilità per localizzare con precisione i difetti negli assemblaggi basati su wafer.
Panoramica
Tra le applicazioni di successo si annoverano wafer incollati, Chip-on-Wafer, wafer impilati, MEMS, wafer sovrastampati e altro ancora. Eseguite la scansione rotante in modo efficiente di fino a 2 wafer contemporaneamente con trasduttori abbinati, e i wafer possono essere ispezionati sulla più ampia gamma di frequenze mai raggiunta in un ambiente di produzione.
Il trasduttore a cascata consente la scansione senza immersione, riducendo al minimo i rischi di contaminazione e le false indicazioni di adesione.
Immagini uniformi e senza striature
Il flusso continuo di acqua evita l'intrappolamento dell'aria, garantendo immagini uniformi e prive di striature, oltre a un funzionamento pulito senza parti in movimento sopra lo scanner. Grazie alla minima esposizione all'acqua, i wafer vengono scansionati e asciugati sul posto per ridurre al minimo le fasi di lavorazione.
La scansione completa del wafer richiede meno di sei minuti
Una scansione di 100 μm (da un wafer all'altro) richiede meno di sei minuti. Le cialde entrano ed escono dal sistema completamente asciutte. SpinSAM include anche un lettore di codici a barre per la verifica delle ricette e il caricamento dei parametri, attiva le richieste di calibrazione e conserva i dati storici.