Présentation

Caractéristiques

• L'EX-QS est disponible en deux distances de sécurité : 1,5″ et 2,2″. L'EX-Q est disponible en 1,5” et 2,2”
• Détecte les wafers clairs, foncés et à revêtement, avec différentes tailles et géométries de bord, sur le réglage de gain en usine.
• Insensible aux interférences de l'environnement de cartographie, y compris les réflexions parasites.
• L'interface directe, simple d'utilisation et prête à l'emploi, ne requiert pas d'amplification ni de conditionnement des signaux, et réduit le coût total de possession de l'outil.
• La solution de cartographie de wafer non intrusive protège les wafers de valeur face aux chocs involontaires.
• Aucune pièce mobile pouvant créer une contamination par particules.
• Détecte les wafers ultrafins et à emplacements croisés.
• Remarque : Le connecteur est en option et doit être sélectionné lors de la commande.