AMI SpinSAM Lite
Inspection et analyse sans opérateur
L'outil d'inspection automatisé SpinSAM Lite offre une sensibilité élevée et une meilleure localisation précise des défauts dans les assemblages à base de plaquettes.
Aperçu
Parmi les applications réussies, on peut citer les plaquettes collées, les puces sur plaquette, les plaquettes empilées, les MEMS, les plaquettes surmoulées et bien d'autres. Grâce à des transducteurs adaptés, il est possible de balayer efficacement jusqu'à 2 plaquettes simultanément par rotation ; les plaquettes peuvent ainsi être inspectées sur la plus large gamme de fréquences jamais atteinte dans un environnement de production.
Le transducteur à cascade permet une numérisation sans immersion, ce qui minimise les risques de contamination et les fausses indications de liaison.
Images uniformes et sans stries
L'arrivée d'eau continue évite l'emprisonnement d'air, ce qui permet d'obtenir des images uniformes et sans traces, ainsi qu'un fonctionnement propre sans pièces mobiles au-dessus du scanner. Grâce à une exposition minimale à l'eau, les plaquettes sont scannées et séchées sur place afin de réduire les étapes de traitement.
Le scan complet d'une plaquette prend moins de six minutes.
Un balayage de 100 μm (d'une plaquette à l'autre) prend moins de six minutes. Les plaquettes entrent et sortent du système parfaitement sèches. Le SpinSAM comprend également un lecteur de codes-barres pour la vérification des recettes et le téléchargement des paramètres, déclenche des demandes d'étalonnage et des enregistrements historiques.