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Mapeado de obleas EX-Q
Nuestro sensor de mapeado de obleas EX-Q ofrece una detección rápida y fiable de obleas semiconductoras y errores de ranurado en cartuchos o FOUP. Este sensor estándar tiene un amplio margen de detección (sensibilidad) que le permite detectar fácilmente obleas finas y con revestimientos oscuros de cualquier tamaño. Además, no tiene piezas móviles que puedan provocar contaminación por partículas.
Información general
Características
- EX-QS está disponible en dos distancias: 1,5 ″ y 2,2 ″. EX-Q está disponible en 1,5 ” y 2,2 ”
- Detecta obleas brillantes, oscuras y recubiertas de distintos tamaños y con distintas geometrías de borde con el ajuste de ganancia de fábrica.
- Es inmune a las interferencias del entorno de mapeado, como los reflejos difusos.
- La sencilla interfaz directa “estándar” no necesita ningún tipo de adaptación de señal ni amplificación, lo que reduce el coste total de propiedad de las herramientas.
- La solución de mapeado de obleas no intrusiva protege las obleas de gran valor de posibles accidentes involuntarios.
- Sin piezas móviles que puedan provocar contaminación por partículas.
- Detecta obleas con ranuras transversales y ultrafinas.
- Nota: El conector es opcional y debe indicarse en el pedido.