Überblick

Plasmabehandlungsmaschinen der AP-Serie eignen sich für eine Vielzahl von Anwendungen zur Plasmareinigung, Oberflächenaktivierung und Haftverbesserung. Diese Fähigkeiten werden für die Halbleiterfertigung, mikroelektronische Verpackung und Montage sowie von Herstellern medizinischer und biowissenschaftlicher Geräte genutzt. Die AP-Serie besteht aus vier Batch-Plasmabehandlungssystemen, die kleine, mittelgroße und große Vakuumkammeroptionen bieten, die Prozesskorrelation, Steuerungskontinuität und zuverlässige, reproduzierbare Vakuumgasplasmabehandlung für Kunden bieten, wenn sie von einem R& D Umwelt auf verschiedenen Ebenen der Produktion.

Plasmabehandlungsgeräte Merkmale und Vorteile

• SPS-Steuerung mit Touchscreen bietet eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und Prozessdarstellung in Echtzeit
• Flexible Regalarchitektur ermöglicht die Verarbeitung einer Vielzahl von Teileträgern im direkten oder nachgeschalteten Plasmamodus
• Der 13,56-MHz-HF-Generator verfügt über eine automatische Impedanzanpassung für eine beispiellose Prozessreproduzierbarkeit
• Proprietäres Softwaresteuerungssystem generiert Prozess- und Produktionsdaten für die statistische Prozesssteuerung
• Batch-Stil, jede Einheit ist vollständig in sich geschlossen und benötigt nur minimale Stellfläche
• Pumpe, Kammer, Steuerung Elektronik und 13,56-MHz-HF-Generator sind in einem einzigen Gehäuse untergebracht

Plasmabehandlungsgeräte Modelle und Konfigurationen

AP-300™ und AP-600™ Plasmabehandlungsmaschinen: Die Plasmabehandlungsmaschinen AP-300 und AP-600 sind Tischgeräte, vollständig in sich geschlossen und benötigen nur minimalen Platz auf dem Labortisch. Das Systemchassis beherbergt die Plasmakammer, die Steuerung Elektronik, den 13,56-MHz-HF-Generator und das automatische Anpassungsnetzwerk (nur die Vakuumpumpe befindet sich außerhalb des Systems). Der Wartungszugang erfolgt über eine verriegelte Tür oder abnehmbare Verkleidungen. Die Plasmakammer unterstützt bis zu 7 abnehmbare und einstellbare, elektrisch betriebene oder geerdete Regale, um eine Vielzahl von Einzelteilen, Komponenten und Teileträgern, einschließlich Magazinen, Tabletts und Booten, aufzunehmen. Die Vakuum-Plasma-Behandlungssysteme können eine breite Palette von Prozessgasen aufnehmen, darunter Argon, Sauerstoff, Wasserstoff, Helium und fluorierte Gase. Beide Modelle werden standardmäßig mit zwei (2) elektronischen Massendurchflussreglern für eine optimale Gaskontrolle geliefert, wobei zwei (2) weitere optional erhältlich sind (insgesamt max. 4). Bequeme Einrichtungsanschlüsse für regelmäßige Kalibrierungsanforderungen, die in Validierungsprozessen verwendet werden.

AP-1000™ Plasmabehandlungsgerät:  Die AP-1000-Plattform ermöglicht einen vollständigen Frontzugang für bequemen Zugang zu allen Innenkomponenten. Die Pumpe ist zur einfachen Entnahme auf Rollen positioniert. Die Plasmakammer besteht aus 11-Gauge-Edelstahl mit Aluminiumbefestigungen für überlegene Haltbarkeit. Die Kammer verfügt über mehrere abnehmbare und verstellbare Regale, um eine Reihe von Teileträgern aufzunehmen, darunter Magazine, Tabletts, Wafer und Auer-Boote. Das Plasmabehandlungssystem AP-1000 mit optionalen HTP-Einschüben (High Durchsatz) kombiniert die Zuverlässigkeit und Prozessqualität des AP-1000-Systems mit den bewährten Vorteilen des einzigartigen Einschubdesigns von Nordson MARCH. Das AP-1000 HTP optimiert die Verwendung der reaktiven Ionen, die im HF-Plasma enthalten sind, wodurch die Behandlungsgleichmäßigkeit erhöht und die Prozesszeit verkürzt wird. Das AP-1000 HTP-System ermöglicht die Auswahl aus einer Reihe von Prozessgasen wie Argon, Wasserstoff und Helium. Es ist standardmäßig mit vier Massendurchflussreglern für eine optimale Gaskontrolle ausgestattet. Schlitzmagazine werden vertikal in der Kammer platziert.

Zusätzlich können Schlitzmagazine vertikal in der Kammer platziert werden. Typischerweise enthält jedes Magazin mindestens 20 Leiterrahmen. Die AP-1000 Plasmakammer kann je nach Magazingröße bis zu 12 Magazine aufnehmen.