Visão geral

As máquinas de tratamento a plasma da série AP são adequadas para uma ampla variedade de aplicações de limpeza a plasma, ativação de superfície e melhoria de adesão. Esses recursos são usados para fabricação de semicondutores, embalagem e montagem microeletrônica e por fabricantes de dispositivos médicos e de ciências da vida. A série AP consiste em quatro sistemas de tratamento a plasma em lote que oferecem opções de câmaras de vácuo pequenas, médias e grandes que fornecem correlação de processo, continuidade do controlador e tratamento de plasma de gás a vácuo confiável e reprodutível para os clientes à medida que expandem de um R& D ambiente para vários níveis de produção.

Tratamento com Plasma equipamento recursos e benefícios

• O controlador PLC com tela sensível ao toque fornece uma interface gráfica intuitiva e representação do processo em tempo real
• A arquitetura de prateleira Flexíveis permite o processamento de uma ampla variedade de transportadores de peças no modo de plasma direto ou downstream
• O gerador de RF de 13,56 MHz possui correspondência automática de impedância para reprodutibilidade de processo incomparável
• O sistema de controle de software proprietário gera dados de processo e produção para controle estatístico de processo
• Estilo de lote, cada unidade é completamente independente, exigindo espaço mínimo
• A bomba, câmara, controle Eletrônica e gerador de RF de 13,56 MHz estão alojados em um único gabinete

Tratamento com Plasma equipamento Modelos e Configurações

AP-300™ e AP-600™ Máquinas de tratamento de plasma: As máquinas de tratamento a plasma AP-300 e AP-600 são do tipo bancada, completamente independentes, exigindo um espaço mínimo na bancada. O chassi do sistema abriga a câmara de plasma, controle Eletrônica, gerador de RF de 13,56 MHz e a rede de correspondência automática (somente o bomba a vácuo é externo ao sistema). O acesso para manutenção é fornecido através de uma porta intertravada ou painéis removíveis. A câmara de plasma suporta até 7 prateleiras elétricas ou aterradas removíveis e ajustáveis para acomodar um ampla variedade de peças, componentes e transportadores de peças, incluindo revistas, bandejas e barcos. Os sistemas de tratamento a plasma a vácuo podem acomodar um ampla variedade de gases de processo, incluindo argônio, oxigênio, hidrogênio, hélio e gases fluorados. Ambos os Modelos vêm de fábrica com dois (2) controladores eletrônicos de fluxo de massa para controle de gás ideal, com outros dois (2) disponíveis opcionalmente (máximo de 4 no total). Conexões de instalações convenientes para requisitos de calibração periódica usados em processos de validação.

Tratamento de Plasma AP-1000™ equipamento:  A plataforma AP-1000 permite acesso frontal total, permitindo acesso conveniente a todos os componentes internos. A bomba é posicionada em roletes para fácil remoção. A câmara de plasma é construída em aço inoxidável calibre 11 com acessórios de alumínio para maior durabilidade. A câmara possui várias prateleiras removíveis e ajustáveis para acomodar uma variedade de suportes de peças, incluindo revistas, bandejas, wafers e barcos Auer. O sistema de tratamento de plasma AP-1000 com prateleiras HTP opcionais (alta rendimento) combina a confiabilidade e a qualidade do processo do sistema AP-1000 com os benefícios comprovados do design exclusivo de prateleira da Nordson MARCH. O AP-1000 HTP otimiza o uso dos íons reativos encontrados no plasma de RF, aumentando a uniformidade do tratamento e diminuindo o tempo do processo. O sistema AP-1000 HTP permite a seleção de uma variedade de gases de processo, como argônio, hidrogênio e hélio. Ele vem equipado de série com quatro controladores de fluxo de massa para controle de gás ideal. Carregadores com fenda são colocados verticalmente dentro da câmara.

Além disso, carregadores com fenda podem ser colocados verticalmente dentro da câmara. Normalmente, cada revista contém um mínimo de 20 quadros de chumbo. A câmara de plasma AP-1000 pode conter até 12 pentes, dependendo do tamanho do pente.